化学计量比对BaTiO3Ni集成结构性能的影响.pdfVIP

第44 卷 第5 期 电 子 科 技 大 学 学 报 Vol.44 No.5 2015年9月 Journal of University of Electronic Science and Technology of China Sep. 2015 化学计量比对BaTiO /Ni集成结构性能的影响 3 1 1 1 1 1 1,2 杜 辉 ，李 洋 ，梁伟正，高 敏 ，张 胤 ，林 媛 (1. 电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室 成都 610054; 2. 东莞电子科技大学电子信息工程研究院 广东 东莞 523808) 【摘要】该文采用化学溶液沉积法——高分子辅助沉积(PAD)法在多晶镍基片上成功制备了钛酸钡(BaTiO3)薄膜，并研究 了前驱体溶液化学计量比对BaTiO3/Ni集成结构漏电特性和介电性能的影响。实验表明，钛过量的薄膜样品可能出现二氧化钛 相，适宜浓度的钛过量可以降低BaTiO3/Ni集成结构1个数量级的漏电流密度，减少介电损耗约50% ，并能有效提高集成结构的 介电常数。对BaTiO3薄膜的漏电流导电机制进行了分析，并对钛过量影响集成结构的漏电特性和介电性能的原因进行了讨论。 关 键 词 钛酸钡; 介电性能; 漏电流; 薄膜材料 中图分类号 TB3 文献标志码 A doi:10.3969/j.issn.1001-0548.2015.05.024 Influence of Stoichiometric Ratio on the Properties of BaTiO3 Thin Films Grown on Nickel Substrates DU Hui1 1 1 1 1 1,2 , LI Yang , LIANG Wei-zheng , GAO Min , ZHANG Yin , and LIN Yuan (1. State Key Laboratory of Electronic Thin films and Integrated Devices, University of Electronic Science and Technology of China Chengdu 610054; 2. Institute of Electronic and Information Engineering in Dongguan, University of Electronic Science and Technology of China Dongguan Guangdong 523808) Abstract Barium titanate (BaTiO3) thin films were successfully deposited on polycrystalline Ni substrates by the polymer-assisted deposition (PAD) technique. The influence of stoichiometric ratio of precursor solution to the dielectric properties and leakage characteristics of barium titanate thin film was studied. The experimental results show that