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MEMS与纳米技术课程之纳米技术—I 纳米科学与技术导论 王海容 whairong@ Institute西安交通大学精密工程研究所 of Precision Engineering, XJTU MEMS与纳米技术课程之纳米技术—I ““未来科学的发展无非是继续向宏观世界和微观世界未来科学的发展无非是继续向宏观世界和微观世界 进军。进军。”” 尺度 137亿光年 光年-…兆米…-千米… 米 纳米-皮米-飞米… 观测范围 西安交通大学精密工程研究所 Institute of Precision Engineering, Xian Jiaotong University MEMS与纳米技术课程之纳米技术—I 制造能力 MEMS与纳米技术课程之纳米技术—I 纳米有多小？ ? nm nanometer ? 1 nm等于十亿分之一(10-9)米，即等于10?。 ? 1 nm=10-3 μm=10-6 mm=10-9 m ? 氢原子的直径为1 ?，1nm等于10个氢原子一个挨一个排起 来的长度 ? 把1nm与1mm相比,等于1m与西安到北京的距离相比; 或者 ? 1nm: = : 西安交通大学精密工程研究所 Institute of Precision Engineering, Xian Jiaotong University MEMS与纳米技术课程之纳米技术—I 纳米有多小？ 1 mm ( millimeter) 大约为一个跳蚤的长度. 1 mm 100 μm (100 micrometers )大约为一根头发的直径. 100 μm 1 μm (1 micrometer, micron )与细菌的尺寸相当. 1 μm 100nm (100 nanometers) 可与病毒的直径相比. 100 nm 1nm (1 nanometer) 只相当于一个小分子的尺寸. 1 nm 西安交通大学精密工程研究所 Institute of Precision Engineering, Xian Jiaotong University MEMS与纳米技术课程之纳米技术—I MEMS与纳米技术的尺度范围 Nanotechnology ? MEMS技术尺度范围 ? 纳米技术的尺度范围 MEMS与纳米技术课程之纳米技术—I 小的优点 - 更快 - 更轻 - 能够放置在更小的空间 - 更便宜 - 更省能源 - 微观尺度不同于宏观材料的性能 Interesting, useful behaviors differing from the bulk macroscopic materials , 西安交通大学精密工程研究所 Institute of Precision Engineering, Xian Jiaotong University MEMS与纳米技术课程之纳米技术—I 纳米何以为科学技术？ 在纳米尺度，微粒尺寸或分子尺寸的限制，导致一些现象的发生，从 而使纳米材料和系统可以具有新的、或显著提高的物理、化 学、生物的性能。一旦这些性能得以应用，将带来无数的新产品、新