第4章力学量传感器旧选编.ppt

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2017-04-25 发布于湖北
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第4章力学量传感器旧选编.ppt

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第4章力学量传感器旧选编

第四章.力测量传感器; ; ;4.1 力的测量原理;二.压阻式传感器;三.压电效应;4.2 材料;一.金属敏感元件; ;二.半导体材料;二.半导体材料;化合物半导体元素半导体 1．单晶硅 2．多晶硅 3．非晶体硅 4．硅蓝宝石 ;典型的是单晶体。压电效应的产生是由于晶体的晶格变形，主要材料为扩散硅。;三.陶瓷敏感元件 ;4.3 压电效应;2.压电材料;B.材料;2.多晶体;3.压电材料特性的比较;4.4 应用