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2017-04-25 发布于湖北
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压力传感器工艺

MEMS压力传感器简介及工艺;目录;MEMS压力传感器就是利用MEMS技术加工制造的压力传感器。作用是将压力这个物理量转化为电量来测量。特点：体积小、重量轻、精度高、温度特性好。 ;;;;;;一种基于MEMS的电容压力传感器主要制作工艺过程如下： ;;图i：干法刻蚀;在所有的微系统制造工艺中，工件的几何形状由掩模来定义，针对所设计的空腔型三维形体，通过腐蚀去掉多余的牺牲材料，由离子注入和扩散来控制局部材料的性质和特点，以达到改变选择区域硅基底的电导的目的。;;谢谢观看！