氩气流速对400 mm大直径磁场直拉单晶硅固液界面、热应力及氧含量的影响.pdfVIP

43????5?? 人 工 晶 体 学 报 ??．? ?＃? ??Q!????!?? ?旦坚堕垒坠?炅?盟?┞?铩昕训└崮?垒坚 丛???堡 ??????????400?大直径磁场直拉单晶硅 固液界面、热应力及氧含量的影响 李 ??1????????1????????1????锐??ψ游?，梁 森??罟??，李海波??瘟?? ?．宁夏大学宁夏光伏材料重点实验室，银川???；????』?璨牧嫌邢薰?荆?????? 摘要：大直径化是太阳能光伏用单晶硅发展的趋势之一。由于炉体结构的增大，炉内气体流场的变化对晶硅生长 ??????????????????????????????CGSim?????????????????????????????????????????????????????????????? 含量的影响。结果表明，随氩气流速的增加，固液界面高度逐渐下降，当氩气流速为中等范围时，固液界面波动最 低，有利于提高拉晶过程的稳定性；另一方面，三相交界处热应力最大值随氩气流速的增加而降低，固液界面热应 ??????????????????????????????????????????????????????????????????????(0??9??1??5in??s??1)???????????? 免断晶等缺陷的发生。同时，在中等氩气流速范围内，晶体中心处的氧含量下降至?????盿?／??氩气流速 为?? nl??s??1??)??????????????????????????????????18???? 关键词：单晶硅；氩气流场；固液界面；氧含量 中图分类号：??? ????????????A 文章编号：????????????? Influence ? Argon ?? ?? ? the Solid??Liquid?????琓??? ??? and ??? Concentration ? the 400 ? ? Silicon??tha ???? Field ??Jinl??ZHANGHong??yanl??GAOMang??man91??ZHOURui2??XUE?—??， ?? ??，? ??猯??，? ??猙?，? Li-junl (1??NingxiaKey ????? ? Photovohaic ?????琋??? ?????，???? 750021??China?? 2??YinchuanLongi Silicon Materials Co????Ltd??Yinchuan???，???