少子寿命测量仪操作规程.docVIP

PAGE  WT-2000PV 少子寿命测量仪 操作规程 少子寿命测量仪操作规程 PAGE - 5 - 少子寿命测量仪操作规程 开机 1 1、检测所有电源连接无误后，按Power键依次打开DOS系统（上面）和Window系统（下面）的工控机。 2 2、预热（10分钟以上） 3、检测前准备 (1) 双击 wintau32图标进入软件； (2)每次开机后点击Measure/Initialize进行初始化 ； 二、检测 检测时可以采用手动检测或者自动检测的方式。 （一）手动检测 1、点击Load Wafer 上料，会弹出“confirm”对话框，如果点击“ok”则放入样品正常上料，如点击“cancel”则可自由移动探头、样品台。硅锭要与检测托盘保持平行； 2、检查设备翻盖内的互锁装置“INTERLOCK OVERRIDE”旁边的红色指示灯，闪烁后方可检测； 3、上料结束后，设备会自动画出样品的轮廓，点击屏幕上方工具栏中的AUTOSETTING ，设备会自动设置监测参数； 4、点击工具栏中的MAP/Resume图标进行扫描（mapping后结果如下图所示）； 1 扫描图 颜色刻度 测量数据结果 2 3 5、点击File\Save保存结果； 6、在Histogram的对话框MIN里填写最小值（根据厂家所需填写，一般为2），然后在MIN下方对应的空格里单击左键，设备会自动剔除扫描图中少子寿命少于2的部分； 7、在图像左边线单击右键，待探头移动到相应位置后，对齐探头左起第一道白线在硅锭上画垂线； 8、在图像右边线单击右键，待探头移动到制定位置后，对齐探头左起第一道白线在硅锭上画垂线； 9、填写检测报表； 10、单击unload ware 下料； （二）自动检测 （1） 在自动检测之前确定是否有需要改动的参数，如不需要直接按MEASURE进行自动扫描；如需则点击工具栏中的MEASURE OPTIONSZ对话框中的Loating 进行修改，修改完毕后点击MEASURE进行自动扫描。 待弹出Lode sample对话框后，进行上料。上料完成后，单击“OK”，设备开始自动扫描； 其后操作与手动检测第5步至第10步相同。 三、关机 1、 关机前取出所有样品。 2、 关闭 wintau32 软件或File\Exit。 3、 关闭 Windows 系统工控机 Start\Shut Down。 4、 关掉真空泵。 5、 如果 Windows 系统工控机在Windows 关闭后未自动关闭，按下按钮关闭Windows 工控机。 6、 关闭 DOS 机的电源。 附录1：工具栏 工具栏（图1-1）显示软件快捷操作方式。 1、；选择测试的项目 2、；打开之前保存的数据。 3、；保存测试的数据。 4、；打印测试的数据。 5、；打开或关闭 Measurement Information 对话框。 6、；打开或关闭 Distribution 窗口。 7、；矩形内包含区域 8、；圆形内包含区域。 9、；矩形外包含区域。 10、；圆形外包含区域。 11、；点擦除。 12、；放大查看所选区域。 13、；多个窗口排列。 14、；：全部关闭。 15、；整体放大或缩小。 16、；放大或缩小至指定比例。 17、；关闭 wintau32 软件。 附录2：测试栏 测试栏显示软件测试功能。 1、；主测试项目。 2、；当前具体操作项目。 3、；测试菜单列表。 4、；打开recorder窗口。 5、；样品的尺寸。 6、；上料，右侧的下拉列表可以选择样品形状，特征等。 7、；从存片器中上料（另选项目）。 8、；下料。 9、；开始新测试，删除旧测试。 10、；进行autosetting 自动测试。 11、；选择测试的点数目。 12、；进行扫描，继续扫描。 13、；全自动测试，包括存储和autosetting。 14、；测试菜单。 15、；停止检测。 16、；option菜单 。 附录3：状态栏 状态栏显示软??状态及当前探头所处点的状态。 机体维护说明： 硬件维护： 1) WT-2000 均已调好水平，因此不要随意移动机器，如需移动，请在调水平。 2) 不要用手移动探头，如需更改高度，清与主管工程师联系。 3) 不要随意调整软件里的任何设置，如需调整，须上报主管工程师。 4) 测量需盖好盖子，不用时请也盖好盖子。 5) 每天测量前，请用吸尘器清理设备中的赃物并用无尘布擦洗将机器擦干净。 Wintau32 软件更新： 对 Wintau32 软件进行更新时需要分别对Windows 机和Dos 机进行更新。 Windows 机更新： 1) 首先确认得到 wintau32.exe 软件。 2) 关闭 wintau3