半导体元件-积体电路-无尘室生产车间详解.pptVIP

第一個電晶體, ATT貝爾實驗室 , 1947 第一個單晶鍺, 1952 第一個單晶矽, 1954 第一個積體電路元件, 德州儀器, 1958 第一個矽積體電路晶片, 費爾查德照相機公司, 1961;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;*;低粒子數的人造環境 最初的無塵室是為了醫院手術房而建的 粒子是良率的殺手 積體電路製造必須在無塵室中進行;最初的無塵室是為了醫院手術房而建的 1950年之後半導體工業採用本項技術 越小的圖形尺寸就需要純淨度更高的無塵室 粒子數越少，造價越高;等級 10：每立方英尺內其直徑大於0.5微米的微粒數目必須小於10顆 等級 1 ：每立方英尺內其直徑大於0.5微米的微粒數目必須小於1顆 0.18 mm 元件需要高於等級1以上的無塵室;*;*;◆ 到1980年代為止，在半導體元件製造中，設計、元件開發、製程開發與生產是不可分的。但最近製程及製造各自衍生出獨立的商機。就是半導體的晶圓處理工程，出現只靠接訂單生產的晶圓代工廠。 ◆ 半導體製造設備廠商的功能逐漸擴大，以往元件製造廠的製程或製造的工作，也在設備製造廠的功能轉變過程中逐漸埋沒。總之無論如何，製程的工作，可說是背後支撐著半導體元件的進展。 ◆ 開發新型低耗電力MPU的美國企業的負責人，毫不在意自己的公司稱為Virtual factory，不進行晶片的製造，全委外。這代表製程的幕後論愈發穩固，並浮