采用声光Q开关调制的脉冲NdYAG激光器.pdfVIP

采用声光 G 开关调制的脉冲 Nd : YAG 激光器 李 强 ~ 郑义军 ~ 王智勇 ~ 左铁钏 ( 北京工业大学激光工程研究院 ~ 北京 100022) 摘要 : 采用声光调制器 ( AOM ) 对脉冲 Nd : YAG 激光进行腔内调制 ~ 提高激光脉冲的峰值功率 G 获得了 脉宽 200 ns 的激光脉冲列 ~ 脉冲列的重复频率为 5~ 50 k~Z ~ 脉冲能量为 30~ 80 mJ ~ 最大脉冲峰值功率 为 400 kW ~ 光束质量为 3 mm mrad G 关键词 : 脉冲激光 ; 声光调 0 ; Nd : YAG 激光器 中图分类号 : TN 248. 1 文献标识码 : A 文章编号 : 1005-0086( 2003) 01-0009-03 A P1lse Nd : YAG Laser Mod1lated by Aco1sto - optic G - switch LI @iang ~ Z~ENG Yi - jun ~ WANG Zhi - yong ~ ZUO Tie - chuan ( College of laser engineering ~ Beij ing Polytechnic University ~ Beij ing 100022~ China ) Abstract : The acousto - op t i c modu I ator ( AOM ) i s used i n cavi ty to modu I ate a pu I se Nd : YAG I aser for i mprovi ng peak - poWer of t he I aser pu I se . The set - up and O - sWi tch i n g pu I se seuence of I aser Were gi ven . The I aser pu I se seuence Wi t h du rat i on of 200 ns typi ca I I y Was ob ta i ned . The repet i t i on rate of t he I aser pu I se i s 5~ 50 kHZ ~ t he pu I se ener gy i s 30~ 80 mJ ~ and t he peak poWer i s more than 400 kW Wi t h a beam parameter product abou t 3 mm mrad . Key words : pu I se I aser ; acousto - op t i c O - sWi tch ; Nd : YAG I aser 1 引 言 激光打孔已广泛地应用于制备孔径小但数量多 的孔 G 这些应用对孔的质量和效率要求高 G 激光脉冲 的 高 峰 值 功 率 ~ 窄 脉 宽 和 高 光 束 质 量 是 减 小 孔 壁 再 铸 层 厚 度 和 裂 纹 深 度 ~ 提 高 激 光 打 孔 质 量 的 有 效 途径 G 采用电光调 0 脉冲 Nd : YAG 激光 ~ 由于脉冲重 复频率较低 ~ 不能快速打孔以满足实际需要[1I G 采用 声光调 0 连续 Nd : YAG 激光 脉 冲 的 峰 值 功 率 不 够 高 ~ 对厚度板不能有效地打穿[2~ 3I G 本文根据高质量激光打孔的要求 ~ 研究了一种新 的高峰值功率激光器 ~ 采用声光 0 开 关 对 脉 冲 Nd : YAG 激光进行腔内调制 ~ 提高激光脉冲的峰值功率 G 对腔的结构 ~ 调制和输出特性进行了分析 ~ 获得了高 峰值功率的激光脉冲列 G 2 激光器的结构 2. 1 谐振腔结构 声光调 0 脉冲 YAG 激光器采用平 - 平 腔 型 ~ 双 氙灯脉冲泵浦的激光棒放置于谐振腔的光学中心 ~ 脉 冲 调 0 声 光 调 制 器 ( AOM ) 放 置 于 全 反 镜 M 1 的 附 近 ~ 激光棒与输出镜 M 2 之 间 放 置 横 模 选 择 光 阑 D ~ 如图 1G 谐振腔腔长的选择基于 3 方面的考虑 : 谐振 腔在最大泵浦功率时不进入非稳定区 ; 0 开关的调制 脉冲短 ; 尽可能好的光束质量 G 设计谐振腔腔长 ( 光学 图 1 声光调 G 脉冲 YAG 激光器 谐振腔结构示意图 Fig . 1 The reso1ator diagraph of A0 G - switch p1lse YAG laser 光 电 子 - 激 光 第 14 卷 第 1 期 2003 年 1 月 Journal of optoelectronics- laser