TCAD技术在微电子实验教学体系中的应用与研究.pdfVIP

???? ????? ????? 实 验 技 术 与 管 理? 第 ??卷 第 ?期 ????年 ?月? ． ． ． ． ． ． ． ． ． ? ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ． ．．．． ． ． — — ????— ????／?? ??????????????????????????????????? ???? ???．??? ??．?? ???．????? 现 代 教 育 技 术? ????技术在微 电子 实验教学体系 中? 的应 用 与研 究? 刘剑 霜 ，郭鹏 飞 ，李伙 全? ?扬 州 大 学 物 理 科 学与 技 术 学 院 ，江 苏 扬 州? ???????? 摘 要 ：针对传统微电子专业实验设备昂贵 、实验周期长 、效果不理想等缺点 ，提出了一种通过半导 体工艺 和? 器 件 的计 算 机 辅 助 技 术 ??????进 行 虚 拟 实 验 教 学 的 方 法 。该 方 法 速 度 快 ，可 以 在 实 验 前 后 和 过 程 中 ，直 接? 观 察 材 料 和 器件 的形 貌 和 内外 参 数 ，是 对 理 论 课 程 的 实 践 和 扩 充 。介 绍 了 合 理 安 排 实 验 规 划 方 案 和 解 决 实? 施 中遇 到 问题 的思 路 。? 关 键 词 ：???? 技 术 ；微 电 子实 验 教 学 ；虚 拟 实 验? 中 图 分 类 号 ：????；???? 文 献 标 志 码 ：?? 文 章 编 号 ：????—????????????— ???????? ?????????????????????????????????????????????????????????????? ?????????????????????????????