ultikleen系列选择指南-MEUCFSGEN.PDF

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MEUCFSGEN Pall Filter Selection Guide UltiKlee n? Series Fiiner Fiilltratiion for Hiigh Puriity Chemiicalls UltiKlee n? Serie s Filter Application Temperature Chemicals / Application Product Name Range UltiKleen ? KC SC -1/ APM (NH 3/H2O2/H2O) R.T. up to 90 ? C UltiKleen ? G2 KC SC -2/ HPM (HCl /H2O2) R.T. up to 194 ? F Chemical Delivery System UltiKleen ? G2 Excellar KC UltiKleen ? G2 Excellar ER / Excellar ERL KC UltiKleen ? SPM -G2 KC (DV Type ) SPM /Piranha ≦150 ?C UltiKleen ? G2 Excellar ERL KC (DV Type ) (H2SO 4/H2O2) ≦ 302 ? F UltiKleen ? G3 Excellar ER KC (DV Type ) ≦170 ?C H3PO 4 UltiKleen ? SPM·G2 KC ≦338 ?F R.T. up to 90 ?C UltiKleen ? STG KC Stripper R.T. up to 194 ?F UltiKleen ? STP KC UltiKleen ? JKC R.T. up to 120 ?C UltiKleen ? JKC Excellar ER Single Wafer Tool R.T. up to 248 ?F UltiKl

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