扫描式电子显微镜暨能量光谱仪操作与笔试测验.PDFVIP

得分： 掃描式電子顯微鏡暨能量光譜儀操作與筆試測驗 姓名: _________ 學校系所: __________ 日期：_______ 學號：_________ 注意：請依以下步驟進行操作，將視完成程度斟酌給分，總分 100 分，80 分合 格。 上機實際操作 1. 利用已準備的樣品進行下列步驟： a.樣品準備：包含固定與前處理方式(5 分) b.樣品置入：注意觀察位置方向與高度確認（15 分） 2. 二次電子（SE）影像觀察：（40 分） a. 執行軸調整（Alignment）（20 分） c. 觀察倍率：× 100K（20 分） 3. EDX 分析：（40 分） a. 放入與退出 EDS 偵測器（10 分） b. 調整 SEM 條件以進行 EDX 分析（10 分） c. 利用 分析放入樣品的成分元素（15 分） d. 檔案輸出（5 分） 考試時間(含實作): ___:___至___:___評分:______ 考核員簽名:___________ ※筆試 滿分 100分；80分以上才可參加實作考試 ※實作為自備試片(自己實驗相關試片) 。 筆試 ㄧ、是非題：（60 分） （1）____當增加加速電壓值時，影像解析度會變差。 （2）____任何樣品皆可放入 SEM 中進行影像觀察。 （3）____當樣品含有水分或是揮發興物質時，可直接放入電子顯微鏡中觀察。 （4）____當基座上鎖(Stage Lock)功能時，X、Y 和 R 軸是可自由移動的。 （5）____為提高影像解析度，鍍金厚度愈厚愈好。 （6）____有時間的話，可以執行越多次的 Flashing 以提高影像解析度。 （7）____使 用碳膠帶固定樣品時，為了防止影像的飄移，可使用大量 的碳膠帶來固定。 （8）____當發現 SEM 影像會放電現象時，可以降低加速電壓以改善之。 （9）_____為增加高倍率時影像解析度，可盡量調近工作距離（WD）。 （10）_____使用低加速電壓觀察試片表面之凹凸起伏會較明顯。 （11）_____只要是週期表上有的元素，皆可利用 EDX 來分析。 （12）_____EDX 的分析條件是:WD＝15mm、樣品傾斜角則無限制。 二、選擇題：（20 分） （13）_____下列敘述何者正確？ A.為提高影像解析度，鍍金厚度愈厚愈好 B.二次電子訊號主要是產生於樣品表面訊號 C.任何樣品皆可於高倍率觀察影像 D.二次電子的訊號量比背向散射電子的訊號量小很多 （14）_____當非導電樣品有放電現象時，下列何者不能減少放電現象？ A.縮小觀察倍率 B.降低加速電壓值 C.增加電子束電流 D.樣品鍍金 （15）_____EDX 分析主要是針對何種物質？ A.元素 B.液體 C.離子 D.氣體 （16）____當基座上鎖(Stage Lock)功能時，下列何者不能再移動？ A.X 軸 B.Y 軸 C.Tilt 軸 D. R 軸 三、問答題：（20 分） 1.小明發現其樣品在觀察 SEM 時，影像會有嚴重的放電現象，請問該如何建議 他以降低此現象（至少寫出三種方法）？ Ans：