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扫描电子显微镜在纺织品检测中的应用
检验测试
扫描电子显微镜
在纺织品检测中的应用
高一川
浙江省纺织测试中心
?摘 要? 介绍了扫描电子显微镜 ? ???? 的原理和特点及其在纺织品检测中的应用。
?关键词? 扫描电子显微镜? 纺织品? 纳米? 检测? 应用
?中图分类号? ????????? ?????
随着各种新型纺织品材料的不断涌现? 光学显 范围大? 一般为 ?? 倍 ~??? ??? 倍? 便于多相、多组
微镜已经越来越难以胜任纺织品检测的需求? 扫描 成的非均匀材料低倍下的普查和高倍下的观察分析。
电子显微镜为纺织品的检测开辟了一条新的道路。 适用于粗糙表面和断口的分析观察? 图像富有立体感、
真实感、易于识别和解释? 有利于纺织品在高放大倍
? 扫描电子显微镜 ? ???? 的原理和特点
数下的观察? 便于对织物或纱线摩擦表面性质的评判。
??? 原理 ????? 具有高分辨率? 一般为 ??? ?? ~? ??。对于
扫描电子显微镜 ? ???? 的原理是利用细聚焦 纺织品表面的细微结构有较高的分辨率。
电子束在固体样品表面逐点扫描? 激发出二次电子、 ????? 可以通过电子学方法有效地控制和改善图像的
背散射电子、? 射线等信号? 经放大后在阴极射线 质量? 如通过调制可改善图像反差的宽容度? 使图像
管上产生反映样品表面形貌的图像。 各部分亮度适中。采用双放大倍数装置或图像选择
其中二次电子是最主要的成像信号。由电子枪 器? 可在荧光屏上同时观察不同放大倍数的图像或不
发射的能量为 ? ??? ? ?? ??? 的电子? 以其交叉斑 同形式的图像。例如? 对羊毛、羊绒及各种麻类纤维
作为电子源? 经二级聚光镜及物镜的缩小形成具有 等的表面做出扫描图像? 从而进行定性分析。
一定能量、一定束流强度和束斑直径的微细电子束? ????? 可 进 行 多 种 功 能 的 分 析 。 与 ? 射 线 谱 仪 配
在扫描线圈驱动下? 于试样表面按一定时间、空间 接? 可在观察形貌的同时进行微区成分分析? 配有
顺序作栅网式扫描。聚焦电子束与试样相互作用 ? 光学显微镜和单色仪等附件时? 可观察阴极荧光图
产生二次电子发射 ? 以及其他物理信号? ? 二次电子 像和进行阴极荧光、光谱分析等。这个特点有利于
发射量随试样表面形貌而变化。二次电子信号被探 对各种功能性纤维的
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