应用于深亚微米dsoi器件的埋氧层的制备.pdfVIP

1 2 2 2 1 1 1 1 1 2 2 第 26 卷 　第 6 期 半 　导 　体 　学 　报 Vol. 26 　No. 6 2005 年 6 月 CHIN ESE J OURNAL OF SEMICONDUCTORS J une ,2005 应用于深亚微米 DSOI 器件的埋氧层的制备 陶 　凯1 ,2 　董业民2 　易万兵1 ,2 　王 　曦1 ,3