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电子显微镜讲义_2010(第12节)1
电子显微镜Electron Microscopy;自我介绍;课堂要求和风格;目 录;主要参考书;第一章
电子显微镜的基础;0 绪论——材料研究的重要性;材料科学基础的地位 ;青铜兵器性能的提高和兵器标准化制备。;聚合物的性能结构依赖性;?m;显微术:光学、电子、扫描探针;; 第一代显微镜——光学显微镜;第二代显微镜——电子显微镜 ;第三代显微镜——扫描探针显微镜(SPM);第二章 电子显微镜基础;2.1 几何光学成像及光学显微镜结构回顾
2.1.1 几何光学成像
透镜成像的高斯公式
u 是物距;
v 是像距
f 是焦距
;2.1.2 光学显微镜结构
;光学显微镜有多种分类方法:
1.按使用目镜的数目可分为双目和单目显微镜;
2.按图像是否有立体感可分为立体视觉和非立体视觉显微镜;
3.按观察对像可分为生物和金相显微镜等;
4.按光学原理可分为偏光、相衬和微差干涉对比显微镜等;
5.按光源类型可分为普通光、荧光、紫外光、红外光和激光显微镜等;
6.按接收器类型可分为目视、数码(摄像)显微镜等。
常用的显微镜有双目体视显微镜、金相显微镜、偏光显微镜、荧光显微镜等。;2.1.3 光学显微镜成像;2.1.3 光学显微镜局限
分辨率定义:
任何显微镜的用途都是将物体“放大”,使物体上的细微部分清晰的显示出来,帮助人们观察用肉眼直接观察看不见的东西。假如物体上两个相距一定距离的点,利用显微镜把它们区分开来。
所能观察到的最小距离,既能分辨的最短距离称为显微镜的分辨率。人眼的分辨率为0.2mm.假如在物镜形成的像中,这两个点未被分开的话,则无论放大多少倍,也不能把它们分开。 ;光学透镜成像的情况见图。表示样品上的两个物点S1、S2经过物镜在像平面形成像s1’、s2’的光路。???????????????????????????????????????????????
由于衍射效应的作用,点光源在像平面上得到的并不是一个点,而是一个中心最亮,周围带有明暗相间同心园环的园斑,即Airy斑.
即S1、S2成像后在像平面上会产生两个Airy斑S1’、S2’.
Airy斑的光强分布特征:
? 84%集中在中央亮斑上,其余由内向外顺次递减,分散在第1、第2 …。一般将第一暗环半径定为Airy斑的半径。;根据光学理论,分辨率可表示为:
d = 0.61λ/(nsinα)
d 为分辨率; λ为入射光的波长;n 为样品与物镜之间介质的折射率;α为半孔径角。
习惯上,N?A表示为nsinα,称为显微镜的数值孔径。
从公式 d = 0.61λ/(nsinα) 可以看出,
波长愈短,孔径角愈大,介质的折射率愈大,则显微镜的分辨本领越高。
;对于光学显微镜,若介质为空气,则n = 1, α极限条件下可为90°,则分辨率为
d = 0.61λ。
实际上,对于玻璃透镜,最大孔径半角a = 70-75°,如果在物镜和试样之间加入松柏油(n = 1.515),
此时的分辨率为 d = λ/2,
可见,半波长是光学玻璃透镜可分辨本领的理论极限。
而可见光波长为400-700nm, 所以光学显微镜的d = 200nm.
有效放大倍数=人眼分辨率/仪器分辨率
M = 0.2mm /200nm = 1000 (倍)
由此可推知光学显微镜有效放大倍数为1000倍
问题:1.什么是有效放大倍数?
2.为什么光学显微镜的最大放大倍数设计为1000倍?;光学显微镜的分辨率为200nm,为了进一步提高分辨率,唯一可能是利用短波长的射线,如利用紫外线(200-400nm),分辨率可提高一倍,曾经有人提出用X射线和γ射线作为光源,但在技术上比较困难,至今没有大的进展。当电子束作为“光源”时显微镜的分辨率提高了1000倍。
电子波的波长决定于电子的速度,而电子的速度决定于加速电压,例如,当加速电压为100KV, 电子束波长为0.0037nm,它比可见光的波长小于10万倍,但实际分辨率提高只有约1000倍。这是由于电镜像差等造成的。
要想电子束作为光源,用于放大成像,还要解决:
电子束发射、 电子束加速、
电子束聚焦、 电子束放大、
电子束穿透能力、电子束成像等问题。;2.3 电子的基本性质
电子是英国物理学家汤姆逊(J.J. Thomson)于1897年在研究阴极射线是发现的,它是最早被发现的基本粒子。一般地说,电子是指带有负电的电子,静止质量为9.11×10-31Kg,其电量为1.602×10-19库伦,是电量的最小单位,电子定向运动形成电流,利用电场和磁场可按需要的方式控制电子的运动,正是利用这一性质,人们发明了各种电子仪器,电镜就是
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