用椭圆偏振仪测量薄膜厚度 - 李峰天文网欢迎您！.pptVIP

用椭圆偏振仪测量薄膜厚度;教学目的与要求 （1）了解薄膜的厚度测量的基本原理。 （2）利用椭圆偏振光消光法，测定透明薄膜的厚度。 教学重点、难点： ? 　本节课教学重点：测量薄膜厚度。 ? 　本节课教学难点：实现椭圆偏振光消光。 ;实验原理 有一束自然光通过起偏器后，变成了线偏振光，再经过一个 波片，变成了椭圆偏振光。这样的椭圆偏振光入射到待测的薄膜表面上时，反射光的偏振状态发生了变化。我们测量这种变化，就可以计算出待测薄膜的厚度。 ;椭偏方程与薄膜折射率和厚度的测量 ?图1所示为一光学均匀和各向同性的单层介质膜，它有两个平行的界面。通常，上部是折射率为n1的空气(或真空)．中间是一层厚度为d折射率为n2的介质薄膜，下层是折射率为n3的衬底，介质薄膜均匀地附在衬底上，当一束光射到膜面上时，在界面1和界面2上形成多次反射和折射，并且各反射光和折射光分别产生多光束干涉．其干涉结果反映了膜的光学特性。 ; 设φ1表示光的入射角，φ2和φ3分别为在界面1和2上的折射角．根据折射定律有 n1sinφ1=n2sinφ2＝n3sinφ3 光波的电矢量可以分解成在入射面内振动的P分量和垂直于入射面振动的s分量．若用Eip和Eis分别代表入射光的p和s分量，用Erp及Ers分别代表各束反射光K0，K1，K2，…中电矢量的p分量之和及s分量之和，则膜对两个量的总反射系数Rp和Rs定义为 RP＝Erp/Eip , Rs=Ers/Eis ; r1p或r1s和r2p或r2s分别为p或s分量在界面1和界面2上一次反射的反射系数．2δ为任意相邻两束反射光之间的位相差．根据电磁场的麦克斯韦方程和边界条件，可以证明 r1p=tan(φ1-φ2)/ tan(φ1+φ2), r1s =-sin (φ1-φ2)/ sin(φ1+φ2)； r2p=tan(φ2-φ3)/tan(φ2+φ3), r2s =-sin (φ2-φ3)/ sin(φ2+φ3) 即著名的菲涅尔（Fresnel）反射系数公式． 如果能从实验中测出ψ和Δ的值，原则上就可以算出薄膜的折射率n2和厚度d．这就是椭圆偏振法测量的基本原理 ;实验仪器 椭圆偏振仪 ;实验内容 （1）接通激光电源和硅光电池电源，在样品台上放好被测样品，将手轮转至“目视”位置，从观察窗看光束，调节平台高度调节钮，使观察窗中的光点最亮最圆。 （2）调节好样品态后，转动起偏器刻度盘手轮，目测光强变化，当光强最小时，起偏器位置保持不动。 （3）转动检偏器刻度盘手轮，目测光强变化，当光强最小时，检偏器位置保持不动。 （4）此时将观察窗盖严，然后将转镜手轮转到光电接收位置，观察放大器指示表（10-11），反复交替微调起偏器、检偏器手轮，使表的示值最小（对应消光）。 （5）从起偏器刻度盘及游标盘上读出起偏器方位角P，从检偏器刻度盘及游标盘上读出检偏方位角A。 （6）重复以上3, 4, 5步骤，测出另一组消光位置的方位角读数。 ;数据处理 将两组（P, A）换算，求平均值，方法如下： （1）区分（P1, A1）和（P2, A2），当其中一组的A符合 0≤A≤90条件，这一组被认定为（P1, A1），另一组则为（P2, A2）。 （2）把（P2, A2）换算成（P2’, A2’） （3）把（P1, A1）与（P2’, A2’）求平均值 （4）利用配套软件，填入（P, A）值，得到待测薄膜的厚度 ;注意事项 （1）不允许用强激光或其他光照射硅光电池，必须先用目视法充分消光后，才能进行测量； （2）由于样品表面的反射，在光屏上有时可能出现两个光点，调节消光时，有明暗变化的应为主光点，副光点可以不管。 （3） 波片一般情况下不允许转动，以免造???测量误差。 ;椭圆偏振仪; 能测量很薄的膜（1nm），且精度很高，比干涉法高1-2个数量级。 是一种无损测量，不必特别制备样品，也不损坏样品，比其它精密方法：如称重法、定量化学分析法简便。 可同时测量膜的厚度、折射率以及吸收系数。因此可以作为分析工具使用。 对一些表面结构、表面过程和表面反应相当敏感。是研究表面物理的一种方法