第十二章半导体式物性传感器.ppt

传感器课程电子教案 ;第十二章　半导体式物性传感器;与各种结构型传感器相比，具有如下特点： ;半导体传感器也存在以下一些缺点： ;本章主要介绍气敏、湿敏、磁敏、色敏和离子敏半导体式传感器。;第一节 气敏传感器;半导体气敏传感器的种类如表 ;;;一、气敏半导体材料的导电机理;;二、电阻型气敏器件;;;2. 薄膜型 ;;3. 厚膜型;;;;三、非电阻型气敏器件;第二节　湿敏传感器 ;;;;;;二、氯化锂湿敏电阻;;;三、半导瓷湿敏电阻;1.　半导瓷湿敏材料的导电机理;;2. 典型半导瓷湿敏电阻;烧结型半导瓷湿敏电阻的结构如图所示 1—接线柱　2—隔漏环　3—RuO2电极 4—感湿体　5—加热丝6—底座　 7—感湿体引线;（2）涂覆膜型Fe3O4湿敏器件 ;;第三节 磁敏传感器;一、磁敏电阻器;;;2. 磁敏电阻??形状;;3. 磁敏电阻的应用;二、磁敏二极管（SMD）;;;第四节　色敏传感器;一.半导体色敏传感器的基本原理;1.光电二极管的工作原理;;;;;;二、半导体色敏传感器的基本特征;;第五节　离子敏传感器;一、ISFET的结构与工作原理;;;;2.　离子敏传感器的结构与工作原理;;二、ISFET的应用