第二章半导体材料和工艺化学品.doc

PAGE  PAGE 17 第二章 : 半导体材料和工艺化学品 概述论: 半导体材料拥有特有的电性能和物理性能，这些性能使得半导体器件和电路具拥有独特的功能。这些性能会和原子的基本性能、，固体、本征半导体和掺杂半导体的电性能一同分析。在本章的第二部分，我们会讨论适用于工艺化学品的基础化学。 目的： 完成本章后您将能够： 完成本章之后，你应当能够做到以下方面： 1.分清原子的各个部分。 2.说出掺搀杂半导体的两种特性。 3.列出至少三种半导体材料。 4.列出与硅相比，砷化镓的优缺点。 5.解释NＮ型和PＰ型半导体材料在组成和电性能方面的不同。 6.描述电阻率和电阻的特性。 7.指明酸，碱和溶剂的不同。 8.列出自然界的四种状态。 9.给出原子、，分子和离子的定义。 10.解释至少四种化学品的安全操作规则。 原子结构 玻尔原子 要想理解半导体材料就必须了解原子结构的基本知识。 原子是自然界的基本构造单元。自然界中的任何事物都是由96９６种稳定和12１２种不稳定的元素组成。每一种元素都有不同的原子结构，不同的结构决定了元素的不同特性。 黄金的特性也是由黄金的原子结构决定的。如果一块黄金不断地被分割而变小，那么最终会留下一小块，依然能呈现出黄金的特性，这一小块就是原子。 进一步分下去，就会产生组成每个原子的三个部分。它们被称作亚原子粒子，也就是质子，中子和电子。这些亚原子粒子各有其特性。要组成金原子就要求这些亚原子粒子有特定的组合和结构。著名物理学家尼尔斯?玻尔最早把原子的基本结构用于解释不同元素的不同物理，、化学和电性能（图2.1２.１）。 e-=电子 +=质子 N=中子 O=未填充电子位置 图2.1 玻尔原子模型 在玻尔的原子模型中，带正电的质子和不带电的中子集中在原子核中，带负电的电子围绕原子核在固定的轨道上运动，就象太阳的行星围绕太阳旋转一样。带正电的质子和带负电的电子之间存在着吸引力，不过吸引力和电子在轨道上运行的离心力相抵，这样一来原子结构就稳定了。 每个轨道容纳的电子数量是有限的。在有些原子中，不是所有的位置都会被电子填满，这样结构中就留下一个“空穴”。当一个特定的电子轨道被填满后，其余的电子就必须填充到下一个外层轨道。 元素周期表 不同的元素，其原子中的电子、，质子和中子数是不同的。幸运地是，自然界把这些亚原子粒子有序地组合起来。如果对决定原子结构的一些规则进行研究，就会对理解半导体材料和工艺化学品的特性有帮助。原子（也是元素）的范围包括从最简单的氢原子（有一个电子）到最复杂的铹（有103个电子）。 氢原子只包括一个原子核中的质子和一个电子。这种组合解释了原子结构的第一条规则。 1.在任何原子中都有数量相等的质子和电子。 2.任何元素都包括特定数目的质子，没有任何两种元素有相同数目的质子。氢在原子核中有一个质子，而氧原子有八个。 这条件规则引出了人们对每种元素指定特定的序数的做法，“众所周知的原子序数”就等于原子中质子的数目（也就是电子的数目）。元素的基本参照就是元素周期表（图2.2）。周期表中每种元素都有一个方格，内有两个字母。原子序数就在方格的左上格角。钙 （(Ca)）的原子序数为20，所以我们立即知道钙原子核中有20个质子，轨道系统上有20个电子。 中子是中性不带电粒子，和质子一起构成原子核。 图2.3表示出了一号元素氢，三号元素锂和十一号元素钠的原子结构图。当建立这些结构图的时候，就可以观察到电子在合适的轨道上分布的规则。该规则就是每个轨道（n）只能容纳2n2　个电子。按此算法，一号轨道只能容纳2个电子。该规则迫使锂的第三个电子进入第二个轨道。第二个轨道的电子数受该规则限制最多有8个，第三轨道的电子数最多有18个。因此在建立有11个质子和电子的钠原子的结构图时，开始的两个轨道容纳了10个电子，第十一个电子就留在第三个轨道上。 这三个原子有一个共性，。每种原子的最外层都只有一个电子，。这显示出了元素的另外一个可观察到的事实。 图2.2 元素周期表 第一号元素：氢 第三号元素：锂 第十一号元素：钠 图2.3 氢、锂和钠的原子结构 1.有相同最外层电子数的元素有着相似的性质，。这个规则就反映在周期表中。注意氢、锂和钠都出现在标着罗马数字I 的竖列中，这个竖列数就代表最外层的电子数，每一列的元素都有着相似的性质。 2.最外层被填满或者拥有八个电子的元素是稳定的，。这些原子在化学性质上要比最外层未填满的原子更稳定。 3. 原子会试图与其它原子结合而形成稳定的条件??——各轨道被填满或者最外层有八个电子。 如掺杂半导体这一节所阐述的，规则4和5影响着N型和P型半导体材料的形成。 电传导 导电子 很多材料的一个重要的特性就是导电或者支持电流。电流其实就是电子的流动。如果元素或者材料中的质子对外层的电子的束