第5章扫描电子显微镜讲稿_Haishan_Wenbin.docVIP

PAGE  PAGE 12 第五章 扫描电子显微镜 5.1扫描电子显微镜简介 扫描电子显微镜（Scanning Electron Microscope，简称SEM）是透射电镜之后发展起来的一种电子显微镜。1952年，英国工程师Charles Oatley制造出了第一台扫描电子显微镜(SEM)。 扫描电子显微镜的成像原理和光学显微镜或透射电子显微镜不同，它是以电子束作为照明源，把聚焦得很细的电子束以光栅状扫描方式照射到样品上，产生各种与样品性质有关的信息，然后加以收集和处理从而获得微观形貌放大像。 扫描电镜在断口失效分析、材料微观组织形貌观察及成分分析方面发挥了重要作用。正因如此，根据不同需求，可制造出功能配置不同的扫描电子显微镜。 扫描电镜的特点 （1）分辨本领较高。二次电子像分辨本领可达1.0 nm(场发射), 3.0 nm(钨灯丝)； （2）放大倍数变化范围大（从几倍到几十万倍），且连续可调； （3）图像景深大，富有立体感。可直接观察起伏较大的粗糙表面（如金属和陶瓷的断口等）； （4）样品制备简单。只要将块状或粉末的、导电的或不导电的样品不加处理或稍加处理，就可直接放到扫描电子显微镜中进行观察；一般来说，比透射电子显微镜（TEM）的制样简单，且可使图像更近于样品的真实状态； （5）观察扫描形貌图像的同时，可对样品微区进行元素分析。扫描电子显微镜装上波长色散X射线谱仪（WDX）或能量色散X射线谱仪（EDX）后，在观察扫描样品形貌的同时，可对样品微区进行元素分析和结晶学分析。 5.2扫描电子显微镜的物理学基础 扫描电镜的成像信息来自电子与物质的相互作用,电子与物质之间的相互作用很多种比如入射电子和原子核的相互作用，入射电子与原子中核外电子的相互作用，入射电子和晶格的相互作用，入射电子与晶体中电子云的相互作用等等，扫描电子显微镜的成像信息来自于入射电子与原子核外电子之间的相互作用。当一束入射电子束投射到样品上的时候，由于受到样品的晶格位场和原子库仑场的作用，其入射方向会发生改变，一部分电子束会被样品散射。如果在散射过程中入射电子只改变方向，但其总动能基本上无变化，则这种散射成为弹性散射；如果在散射过程中入射电子的方向和动能都发生改变，则这种散射称为非弹性散射。在非弹性散射情况下伴有各种信息的产生如二次电子、背散射电子、俄歇电子、X-射线光量子、光子、热量等，其余的电子会穿透样品。 5.2.1二次电子 当入射电子与原子中核外电子发生相互作用时，会发生散射，如果这种散射过程发生在比较接近样品表层，由于原子核和外层价电子间的结合能很小，因此外层的电子比较容易和原子脱离。当原子的核外电子从入射电子获得了大于相应的结合能的能量后，就会离开原子而变成自由电子，即二次电子。一个能量很高的入射电子射入样品时，可以产生许多自由电子，而在样品表面上方检测到的二次电子绝大部分来自价电子。 二次电子特点 （1）二次电子来自表面5~50 nm的区域，能量为0~50 eV，多数能量在2~3eV。 （2）二次电子对试样表面状态非常敏感，能有效地显示试样表面的微观形貌。 （3）二次电子的分辨率较高（一般可达到5~10nm），所以 HYPERLINK /view/691143.htm \t _parent 扫描电镜的分辨率一般就是二次电子分辨率。 （4）激发出来的二次电子作为SEM的成像信号，代表样品表面的结构特点。因此一般所说的电子显微镜照片即是指收集到的二次电子信号转化成的图象。 5.2.2背散射电子 背散射电子是指被固体样品原子反射回来的一部分入射电子，包括弹性背散射电子和非弹性背散射电子。其中弹性背散射电子是指被样品中原子核反弹回来的，散射角大于90度的那些入射电子，其能量基本无变化（几到几十KeV）。非弹性背反射电子是入射电子和核外电子撞击后产生非弹性散射，不仅能量变化（能量范围很宽，从数十eV到数千eV），而且方向也发生变化。从数量上看，弹性背散射电子远比非弹性背散射电子所占的份额多。 背散射电子的产生范围在离样品表面的100nm~1mm深度内，能量在几十~几千eV范围之内。背散射电子成像的分辨率低（分辨率一般为50~200nm，与电子束斑直径相当）。背散射电子和二次电子的产额随原子序数的增加而增加，但二次电子增加的不明显。而背散射电子作为成像信号不仅能分析形貌特征，也可以用来显示原子序数衬度，定性地成分分析。 5.2.3特征X射线 特征X射线是原子的内层电子受到激发以后，在能级跃迁过程中直接释放的具有特征能量和波长的一种电磁波辐射。具体的说入射电子与核外电子作用，产生非弹性散射，外层电子脱离原子变成二次电子，使原子处于能量较高的不稳定态激发状态。较外层的电子会迅速填补内层电子空位，使原子降低能量，趋于较稳定的状态。在此