电能谱仪构造.PDF

第4章 电子能谱仪构造 1. 电子能谱仪的一般构造 2. 超高真空系统(()UHV) 3. 激发源 4. 电子能量分析器与检测器 5. 样品的制备和处理 6. 数据系统 7. 常用附件（中和枪与离子枪） 4.1、电子能谱仪的一般构造 ? 电子能谱仪一般由超 高真空系统、激发源 （X射线光源、UV光源、 电子枪）、电子能量 分析器、检测器和数 据系统，以及其它附 件等构成。 ? 现以Thermo-VG公司生 产的ESCALAB 250高性 能电子能谱仪为例， 说明其主要仪器结构。 电子能谱仪结构框图(Instrumentation) 电子能谱仪结构框图 4.2、超高真空系统(UHV) ? 超高真空系统是进行现代表面分析及研究的主要部分。谱仪的光源 等激发源、样品室、分析室及探测器等都应安装在超高真空中。对 真空系统的要求是高的抽速，真空度尽可能高，耐烘烤，无磁性， 无振动等。通常超高真空系统真空室由不锈钢材料制成，真空度优 于5×10-10 mbar。现在所有商业电子能谱仪都工作在10-8 ~ 10-10 mbar的超高真空范围下。 ?