NO6非球面数字波面检测技术.pdfVIP

第 卷 第 期 应 用 光 学 ３３ ６ 　 　 　 Ｖｏｌ．３３Ｎｏ．６ 年 月 ２０１２ １１ Ｊｏｕｒｎａｌ　ｏｆ　Ａｐｐｌｉｅｄ　Ｏｐｔｉｃｓ Ｎｏｖ．２０１２ 文章编号 ：１００２－２０８２（２０１２）０６－１１１８－０５ 非球面数字波面检测技术 袁吕军１，２，杨　帆１，２，３ 中国科学院国家天文台南京天文光学技术研究所 江苏 南京 （１． ， ２１００４２； 中国科学院天文光学技术重点实验室 江苏 南京 ２． ， ２１００４２； 中国科学院研究生院 北京 ３． ， １０００４９） 摘　要：提出了一种快速检测浅度非球面（非球面度小于０．０１ｍｍ）的方法，该方法无需补偿器 或其他辅助光学元件进行零位补偿。用移相干涉仪直接测量正轴或离轴的浅度凹非球面，剔除 平移、倾斜、失焦等调整误差后，得到实际被测镜面的面形分布数据；根据正轴或离轴的浅度凹 非球面矢高方程计算理想非球面的面形分布数据，得到理论波面数据，用实测的面形分布数据 减去理论的面形分布数据即可得到被检非球面的剩余波像差，即面形误差。利用该方法测量了 一口径为１３５ｍｍ 的双曲面，并用零位补偿法加以验证。两种方法的检测结果精度相当，说明数 字波面法可实际应用于正轴或离轴的浅度凹非球面的检测。 关键词：光学检测；非球面；数字波面；波像差 中图分类号 文献标志码 ：ＴＮ２０５；ＴＮ２４７　　　　　　 ：Ａ　　　　　　ｄｏｉ：１０．５７６８／ＪＡ Ｏ２０１２３３ ．０６０５００１ Ｍｅｔｈｏｄ??ｏｆ　ｄｉｇｉｔａｌ　ｗａｖｅｆｒｏｎｔ　ｆｏｒ　ｔｅｓｔｉｎｇ　ａｓｐｈｅｒｅ ＹＵＡＮ　Ｌü－ｊｕｎ１，２，ＹＡＮＧ　Ｆａｎ１，２，３ （１．Ｎａｎｊｉｎｇ　Ｉｎｓｔｉｔｕｔｅ　ｏｆ　Ａｓｔｒｏｎｏｍｉｃａｌ　Ｏｐｔｉｃｓ　＆ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ／Ｎａｔｉｏｎａｌ　Ａｓｔｒｏｎｏｍｉｃａｌ　Ｏｂｓｅｒｖａｔｏｒｉｅｓ，ＣＡＳ， Ｎａｎｊｉｎｇ　２１００４２，Ｃｈｉｎａ；２．Ｋｅｙ　Ｌａｂｏｒａｔｏｒｙ　ｏｆ　Ａｓｔｒｏｎｏｍｉｃａｌ　Ｏｐｔｉｃｓ　＆ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，ＣＡＳ，Ｎａｎｊｉｎｇ　２１００４２，Ｃｈｉｎａ； ３．Ｇｒａｄｕａｔｅ　Ｕｎｉｖｅｒｓｉｔｙ　ｏｆ　Ｃｈｉｎｅｓｅ　Ａｃａｄｅｍｙ　ｏｆ　Ｓｃｉｅｎｃｅｓ，Ｂｅｉｊｉｎｇ　１０００４９，Ｃｈｉｎａ） Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ａ　ｍｅｔｈｏｄ　ｆｏｒ　ｆａｓｔ　ｔｅｓｔｉｎｇ　ａｓｐｈｅｒｉｃ　ｓｕｒｆａｃｅ　ｗｉｔｈ　ｓｍａｌｌ　ａｓｐｈｅｒｉｃｉｔｙ（ｌｅｓｓ　ｔｈａｎ　０．０１ｍｍ） ｗａｓ　ｐｒｏｐｏｓｅｄ，ｗｈｉｃｈ　ｄｏｅｓ　ｎｏｔ　ｎｅｅｄ　ｃｏｍｐｅｎｓａｔｉｏｎ　ｓｙｓｔｅｍ　ｏｒ　ｏｔｈｅｒ　ｏｐｔｉｃａｌ　ｅｌｅｍｅｎｔｓ．Ｆｉｒｓｔ　ｔｈｅ ｐｒａｃｔｉｃａｌ　ｗａｖｅｆｒｏｎｔ　ａｂｅｒｒａｔｉｏｎ　ｗａｓ　ｍｅａｓｕｒｅｄ　ｂｙ　ｐｈａｓｅ－ｓｈｉｆｔｉｎｇ　ｉｎｔｅｒｆｅｒｏｍｅｔｅｒ，ａｎｄ　ｔｈｅ　ａｄｊｕｓｔ－ ｍｅｎｔ　ｅｒｒ