SAW气体传感器自动测试系统.pdfVIP

年 月 传 感 技 术 学 报 第 期 · 制 品 介绍 。 气 体传 感器 自动 测 试 系 统 秦 树 基 褚庆 伟 唐 宗岳 , 同 济大 学物 理 系 上 海 声 表面 波气 体传 感 器 的 性 能 在 很 大 程 度 上 取 决 于 涂 覆 在其 表 面 的 化学 界 面 膜 的 性 能 。 因 此 , 制 作这 种 气 体传 感 器 的 首 要 的 任 务 是 筛 选 制 作 这 一 界 面 膜 的 原 材 料 于 是 , 对 制 成 样 膜 的 气 敏 性 能 要 进 行 测 试 , 诸 如 灵 敏 度 、 选 择 性 、 响应 和 恢 复 时 间 、 可 逆 性 、 可 重 复 性 、 可 靠 性 、 界 面 膜的 老 化 和 寿 命等 , 以 便综 合 比较 , 作 出 最 后 判 定 显 然 , 这 是 一 项费 时 费 事 的 工 作 为 了效 益 , 建立 一 套 自动 测 试 系 统 是 必 要 的 作 者 在 已 有 报 道 〔‘一幻 的 基 础 上 , 新 建 了 一 套 系 统 , 经 实 际 使用 , 证 明 性 能是 良好 的 自动 测试 系统 的结 构 由作 者 所 建立 的 自动 测 试 系 统是 自动 配 气 系 统 和 测 试 装置 两 部 分 组 成 还 配 合有 数 据 处 理 和 控 制软件 一 套 自动 配 气 系 统 结 构 标 准 气体 源 采 用 国 家标 准 物质研 究 中心 配 制 的 钢瓶 气体 , 标 准气 体 和 稀 释 气 体各 自通 , 过 一 只 质量 流 量 控 制器 分 别输 人 混 合 腔 混合 后 配 成测 试气 样输 给测 试装 置 中的 测 试 室 实 际 工 作 中 , 为 了 满 足 配 气浓 度宽 广 的 条件 , 并 保证 精度 , 标 准 气样 输出 不 只 是 一 路 , 而 把 它 分成 三 路 , 各 自经 一 只 质 量 流 量 控 制器系 统 , 分别 专供配 制高 、 中 、 低三 档浓度 样气 之 使 用