第3章应变式传感器-Read.ppt

3.1工作原理 3.2电阻应变片特性 3.3电阻应变片的测量电路 3.4应变式传感器应用 ; 第3章 应变式传感器;3.1 工作原理; 当电阻丝受到拉力F作用时, 将伸长ΔL, 横截面积相应减小ΔS, 电阻率将因晶格发生变形等因素而改变Δρ, 故引起电阻值相对变化量为 ; 由材料力学可知, 在弹性范围内, 金属丝受拉力时, 沿轴向伸长, 沿径向缩短, 那么轴向应变和径向应变的关系可表示为; 通常把单位应变能引起的电阻值变化称为电阻丝的灵敏度系数。其物理意义是单位应变所引起的电阻相对变化量, 其表达式为 ; 用应变片测量应变或应力时, 根据上述特点, 在外力作用下, 被测对象产生微小机械变形, 应变片随着发生相同的变化, 同时应变片电阻值也发生相应变化。当测得应变片电阻值变化量ΔR时, 便可得到被测对象的应变值。根据应力与应变的关系, 得到应力值σ为 σ=E·ε （3 - 9） 式中 : σ——试件的应力;  ε——试件的应变;  E——试件材料的弹性模量。 由此可知, 应力值σ正比于应变ε, 而试件应变ε正比于电阻值的变化, 所以应力σ正比于电阻值的变化, 这就是利用应变片测量应变的基本原理。 ;3.2 电阻应变片特性; 箔式应变片是利用光刻、腐蚀等工艺制成的一种很薄的金属箔栅, 其厚度一般在0.003～0.01mm。其优点是散热条件好, 允许通过的电流较大, 可制成各种所需的形状, 便于批量生产。薄膜应变片是采用真空蒸发或真空沉淀等方法在薄的绝缘基片上形成0.1μm以下的金属电阻薄膜的敏感栅, 最后再加上保护层。它的优点是应变灵敏度系数大, 允许电流密度大, 工作范围广。  半导体应变片是用半导体材料制成的, 其工作原理是基于半导体材料的压阻效应。所谓压阻效应，是指半导体材料在某一轴向受外力作用时, 其电阻率ρ发生变化的现象。  半导体应变片受轴向力作用时, 其电阻相对变化为 ;（3-10）; 实验证明, πE比（1+2μ）大上百倍, 所以（1+2μ）可以忽略, 因而半导体应变片的灵敏系数为  Ks = ; 二、 横向效应 当将图 3 - 3 所示的应变片粘贴在被测试件上时, 由于其敏感栅是由n条长度为l1的直线段和（n-1）个半径为r的半圆组成, 若该应变片承受轴向应力而产生纵向拉应变εx时, 则各直线段的电阻将增加, 但在半圆弧段则受到从+εx到-μεx之间变化的应变, 圆弧段电阻的变化将小于沿轴向安放的同样长度电阻丝电阻的变化。综上所述, 将直的电阻丝绕成敏感栅后, 虽然长度不变, 应变状态相同, 但由于应变片敏感栅的电阻变化较小, 因而其灵敏系数K较电阻丝的灵敏系数K0小, 这种现象称为应变片的横向效应。 ; 当实际使用应变片的条件与其灵敏系数K的标定条件不同时, 如μ≠0.285或受非单向应力状态, 由于横向效应的影响, 实际K值要改变, 如仍按标称灵敏系数来进行计算, 可能造成较大误差。当不能满足测量精度要求时, 应进行必要的修正, 为了减小横向效应产生的测量误差, 现在一般多采用箔式应变片。 三、 应变片的温度误差及补偿 1. 应变片的温度误差 由于测量现场环境温度的改变而给测量带来的附加误差, 称为应变片的温度误差。 产生应变片温度误差的主要因素有: ; 1) 电阻温度系数的影响 敏感栅的电阻丝阻值随温度变化的关系可用下式表示：  Rt=R0（1+α0Δt） (3 - 14) 式中: Rt——温度为 t ℃时的电阻值;  R0——温度为t0℃时的电阻值;  α0——金属丝的电阻温度系数;   Δt——温度变化值, Δt=t -t0。 当温度变化Δt时, 电阻丝电阻的变化值为  ΔRt=Rt- R0= R0α0Δt （3 - 15） ; 2) 试件材料和电阻丝材料的线膨胀系数的影响 当试件与电阻丝材料的线膨胀系数相同时, 不论环境温度如何变