物理气相沉积硬质薄膜及在机械功能领域上的应用.pdfVIP

物理气相沉积硬质薄膜及在机械功能领域上的应用前言?硬质薄膜的种类及发展阶段包括表面涂镀技术，表面改性技术和表面检测技术三大部分。其中，表面涂镀技术中以真空等离子束沉积。离子镀和离子束辅助沉积技术。沉积的主要类型包括：真空蒸发，直流二??第一阶段??兰???年代?杭虻ザ?5;?铩⑻蓟?铩?丝锥、拉刀等。国外有报道，在各种不同滚刀上镀???诓桓谋浣??颓邢魉俣鹊奶跫?拢?代明江林松盛侯惠君李洪武朱霞高林凯生随着科学技术的进步和生产发展的要求，表面技术作为一门新兴的综合性学科，是具极高使用价值的基础技术；?世纪?年代，其被列入世界?项关键技术之一。现代表面技术主要离子体为基础的的薄膜技术近年来发展十分迅猛，在生物、机械、化工、电子、光学等领域的应用十分广泛。薄膜材料按功能用途可分为装饰功能薄膜、物理功能薄膜、机械功能薄膜和特殊功能薄膜四大类。其中机械功能薄膜主要包括耐磨??、????等?⒛褪?????，等?⒛透呶卵趸????????等?⒆匀蠡???骸??等?确矫妫恢饕Dは涤械;?物系、碳化物系、氧化物系、硼化物系、硅化物系、金属合金系和金属系等。物理气相沉积??????????，??法是制备机械功能薄膜的主要手段之一。物理气相沉积技术除传统的真空蒸发和溅射沉积技术外，还包括?多年来蓬勃发展起来的各种极溅射，磁控溅射，阴极电弧离子镀，强电流电弧?然?离子镀，离子束沉积，离子柬辅助沉积等等。???二元氮化物薄膜二元氮化物硬质薄膜的种类很多?纾篢?、?、?????、????、?批、?、???，这里主要介绍已经商品化的例子如：???????等。其主要性能如下表????さ纳唐坊?缭谏鲜兰??甏?褪迪至耍?饕Sτ糜冢撼萋智邢鞯毒摺⒆晖贰⑾车丁?与未镀层的刀具对比，滚刀寿命提高了?叮晃夜?氖匝榻峁?牵?杂诠龀莸叮琓?镀层使刀具寿命提高??：?冻啊???びτ玫牡湫屠?邮悄谌蓟?钊?芊饣贰；钊?吩诟呶隆⒏哐沟娜计?橹手型?丛硕?并和气缸套发生激烈摩擦，工作条件恶劣，要求材料具有一定的强度、硬度??弹性、耐磨性、耐蚀性、热稳定性及良好的工艺性。若在活塞环基体沉积的膜层不够厚，对其寿命的提高效果不明显，而??び捎谧陨淼男灾剩?屎铣粱?虾?可达几十微米?⒕哂幸欢ǖ挠捕龋?湍?性好，这是其它的硬质膜很难做到的。因此，??げ阍诠つ＞呱现饕Sτ霉ぷ魈跫?隙窳印?耐磨损方面。??げ憔哂杏捕雀摺⑷鄣愀摺⑷任榷ㄐ院谩⒖故葱阅芮考傲己玫哪Σ聊ニ鹦阅艿取???阒萦猩ń鹗粞芯吭海?愣ü阒荩????摘要；材料的磨损、腐蚀及其它环境损伤是机械工业面临的基本问题之一，近年来．由离子参与和等离子体增强的各种气根沉积技术为解决这一问题提供了有效的途径。物理气相沉积???侵票赣仓时∧さ纳?要方法之一。许多技术已实现工业化生产。本文综述了物理气相沉积技术制备的各种机械功能薄膜的性能及应用情况，并总结了广州有色金属研究院在这方面的研究开发工作。关键词：物理气相沉积???河仓时∧ぃ恍阅埽挥τ茫汗つ＞???表?部分二元氮化物硬质薄膜的性能???一? 变差??“?±????璢?的赢州对蒙基本槲司，卜受用?罕钢諮】具忸由???一????牮サ匾?珏宝生蹩生焦蕉熊蜒壁?褂?橐ね???寇焉??昀堇菟考嗤?碳化物硬质薄膜的种类也担多?鐁?、?、??????、??????????起到膜层与般的钢铁和台金具宵是好的附着力，儿礁幢和耐蚀健均高于??⒀拢?乇鹗侨裙瓒取?圈内外的研究表明，?????时仍可保持?％的室温硬廑德．在???保甖?膜崖的磨蚀速度仪为??共愕??ァ??膜崖本身良好的热稳定性和热硬度，使苴高溢?谷瘸寰绯礯?鼓ァ⒓跄?性能高于般的??凉晨，在刀具、横疑镀层方面具钶特殊的庶???广州有邑金属研究巯毕在?州纪?年代就进扎?夥矫娴难芯靠7??鳎?闳啄诮霞捉?行这方向研究的单位之‘，棚胄不少拍研究成果，?＠?玫缁「吡硕啤⑴隹骓晟渫端?嗉际?复合等于段来制备????、??韧胫时〈希?晒σ躥?康牡??廓皑???贰⒗砝?懊牌?啵?见嘲??。?L蓟?锉∧???，、??、??菾，这里丰监介绍??男阅芗坝????膜雇的颤色般为获。罄色，文献所发表的硬度值分散性根，、，从赶低???奖芨???琣，丰舞耳?决于???戎怠?般地，??沉积的膜层碗麈为?????。由?艟层??嬖??蕹纾??髡橄凳?菷?“、，似高蕊稳定性??纷叽啵?至令在『?＞叨启旧希?苣训玫仅晷膎?サ??，般‘???涮ㄍ?啥嗖愀刺ㄅ??诮锥??吐纪?年代?憾嘣8刺ü?山鹗艋?ㄎ?多几复台?徊ε棠迥咛ㄎ铩劲蜃樘ǘ嫘猜ΑС６啵?籞翟?要，???＼??、???、聪，行?臁蝔『?克＝摁局┰?、??是????的折中彤戌的聪系，??圳通过【垮牡???比例，旌订??埂縏??Ⅱ竰佳能强涮犯粥刮彩种；??病?穞?鐌??Ｑ杞?谏ǎ?篍辚靠玛静?竢叮翔?吨???磢苎具，圈??滁层