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國家中山科學研究院 「公開徵求廠商提供參考資料、商情訪價資料」公告申請表 案號1056708519 \ BV05033P-CS品名閃爍體小量試產蒸鍍設備聯絡人張景星電話(03)471-2201 分機357249電子郵遞信箱桃園龍潭郵政90008附8-5號傳真電話(03)471-4368申請事項公開徵求廠商提供 □參考資料 ▉商情報價 (得複選)提供公開閱覽□是 ▉否 (勾“否”者免加註閱覽「地點及時間」)公開閱覽地點□本院五號門開標中心 □ (其他地點請加註)公開閱覽時間本院上班日□上午0830至下午1630□ (其他時間請加註)公開徵求廠商提供參考資料或商情訪價說明---限填1000個中文字採購內容摘要： 一、主要規格(功能)： (一).閃爍體小量試產蒸鍍設備1. 真空腔體 1.1 SUS 304拋光不鏽鋼鋼材。 1.2腔體尺寸: U型腔體(深度≧750mm) x (寬度≧750mm) x (高度≧800mm)。 1.3手動前開式門(含視窗及視窗遮板)。 1.4發射源及加熱影響部分加強水冷: (a)水流量≧1.5L/min。 1.5配備標準真空引入口。 1.6腔體內部固定襯板2套。 2. 幫浦 2.1 低真空幫浦 (a)油式機械幫浦。 (b)抽氣速率:≧600 L/min。 (c)終極壓力:≦5*10^-3 torr。 2.2 高真空幫浦 (a)擴散幫浦:≧16吋 (b)抽氣速率:≧6000 L/sec。 (c)終極壓力:≦5*10^-6 torr。 3. 壓力量測及控制 3.1真空量測控制器x1 (a)顯示範圍:1atm~(5±1)*10^-10 torr。 (b)解析度:0.001torr。 3.2低真空真空計x2 (a)派蘭妮真空計2組。 (b)量測範圍:1atm~(5±1)*10^-3 torr。 3.3高真空真空計x1 (a)冷陰極真空計1組。 (b)量測範圍:(5±1)*10^-3 torr~(3±1)*10^-7 torr。 4. 蒸鍍源 4.1 腔體下板安置兩組阻抗式加熱蒸鍍源 (a)容量:≧250cc。 (b)加熱功率:≧2.8KVA。 (c)電流表:0~700A。 4.2 腔體下板安置一組加熱器加熱蒸發源 (a)容量:≧10cc。 (b)加熱溫度:400℃±100℃。 4.3電源供應器至少1組 (a)最大功率≧500W。 4.4獨立水冷系統 (a)水流量≧1.5L/min。 5.空間溫度量測 5.1 五組K type熱電偶量測溫度及溫控器，同步量測腔體空間溫度。 (a)量測範圍:0~300℃。 5.2 腔體底部至少含有一組2IR的視窗含遮板，供客戶現有IR thermal meter測溫用。 5.2.1 IR thermal meter: (a)測量範圍:0~350℃ (b)spectral Range:8 to 14um (c)focusing Range:50cm to infinity (d)accuracy: ±2℃ 6.膜厚控制系統 (a)可搭配自動控制軟體達成自動鍍膜功能。 (b)膜厚顯示解析度:0.01nm。 (c)鍍膜速率顯示解析度:0.01nm/sec。 (d)膜厚量測範圍:0~9990nm。 (e)至少4組獨立偵測頭，水冷引入及訊號引入，搭配製程自動切換。 (f)6MHz石英震盪片。 (g)具有氣動旋轉式遮板。 7.基板加熱模組 (a)可程式多段數位顯示溫度控制器 (b)使用石英燈加熱。 (c)基板工作溫度範圍:0~300℃。 (d)含電源供應器及溫控器，PID自動控溫。 8. 基板載具 8.1 公自轉式基板載具一組。 8.1.1 一組公自轉基板載具 (a)基板尺寸≧120mm x 150mm (b)至少放置三片基板。 8.1.2 公自轉基板載具。 9.系統控制 9.1全PLC控制，人機介面觸控面板。 (a)需具手動及自動操作模式等作業流程。 (b)真空度、轉速、鍍率及加熱溫度等製程參數訊息顯示及紀錄。 (c)可由電腦顯示並紀錄機台製程參數及異常資料。 9.2安全裝置 (a)異常、警告及錯誤訊息顯示。 (b)電流過載保護器。 (c)系統安全互鎖保護裝置。 (d)機台自動警報且斷電停機。 (e)所有閥門及幫浦互鎖。 10.機台尺寸 10.1 主機台:≧1800mm(W) x≧1800mm (D) x ≧1600mm (H)。 10.2 幫浦:≧460mm (W) x ≧190mm (D) x ≧240mm (H)。 11. 互鎖特徵 11.1 機台自動警報並斷電停機條件 (a)冷卻水不足。 (b)腔體壓力異常。 (c)壓