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微电专业基础实验 2016 集成电路 专业基础实验 电子科学与技术学院编 2016．1 集成电路专业基础实验 1 2 3 4 5 微波基本测量………………………………………………………………………………1 射频图像传输 ……………………………………………………………………………7 半导体光电导实验…………………………………………………………………………14 半导体光伏效应实验………………………………………………………………………20 半导体霍尔效应实验………………………………………………………………………26 6 PN结正向压降温度特性实验 ……………………………………………………………32 7 半导体少数载流子寿命测量………………………………………………………………368 四探针测电阻率实验…………………………………………………………………３９ 9 Tanner 设计工具的使用…………………………………………………46 10 使用S-edit设计单元电路………………………………………………………………53 11 Spice电路分析基础…………………………………………………………………………61 12 使用T-spice分析MOS管 …………………………………………………………………68 13 使用T-spice分析反相器电路………………………………………………………………72 14 使用L-edit编辑单元电路 …………………………………………………………………77 15 使用L-edit设计反相器 ……………………………………………………………………85 16 使用Tanner进行集成电路设计……………………………………………………………100 集成电路专业基础实验 实验1 微波基本测量技术 一．实验目的 1. 学习微波的基本知识； 2. 了解波导测量系统，熟悉基本微波元件的作用； 3．了解微波在波导中传播的特点，掌握微波基本测量技术； 4．掌握大、中、小电压驻波系数的测量原理和方法； 5．学习用驻波测量线校准晶体检波器特性的方法。 二．实验原理 （一）微波基本知识 在微波波段，随着工作频率的升高，导线的趋肤效应和辐射效应增大，使得普通的双导线不能完全传输微波能量，而必须改用微波传输线。常用的微波传输线有平行双线、同轴线、带状线、微带线、金属波导管及介质波导等多种形式的传输线，本实验用的是矩形波导管，波导是指能够引导电磁波沿一定方向传输能量的传输线。 传输线的特性参量与工作状态在波导中常用相移常数。波导波长，驻波系数等特性参量来描述波导中的传输特征，对于一个横截面为a×b的矩形波导中的TE10波： 自由空间波长 λ=c/f， 截止（临界）波长 λc=2a， 波导波长 λg=λ/ （1） 相移常量 β=2π/λg，， 反射系数 Γ=E反/E入 驻波比 ρ=Emax/Emin， 由此可见，微波在波导中传输时，存在着一个截止波长λc，波导中只能传输λ＜λc的电磁波。波导波长λg＞自由空间波长λ。 在实际应用中，传输线并非是无限长，此时传输线中的电磁波由人射波和反射波迭加而成，传输线中的工作状态主要决定于负载的情况。 （1）波导终端接匹配负载时，微波功率全部被负载吸收，无反射波，波导中呈行驻波状态．此时|Γ|=0，ρ＝l。 - 1 - 集成电路专业基础实验 （2）波导终端短路（接理想导体板）．开路或接纯电抗性负栽时，形成 全反射，波导中呈纯驻波状态。此时|Γ|=1，ρ＝∞。 （3）波导终端接一般性负载（有电阻又有电抗）时，形成部分反射，波导中呈行驻波状态．此时0＜|Γ|＜l，1＜ρ＜∞。 （二）常用微波元件及设备简介 1．波导管：本实验所使用的波导管型号为BJ—100，其内腔尺寸为α＝22.86mm，b＝10．16mm。其主模频率范围为8．20～12．50GHz，截止频率为6．557GHz。 2．隔离器：位于磁场中的某些铁氧体材料对于来自不同方向的电磁波有着不同的吸收，经过适当调节，可使其对微波具有单方向传播的特性(见图1)。隔离器常用于振荡器与负载之间，起隔离和单向传输作用。 3．衰减器：把一片能吸收微波能量的吸收片垂直于矩形波导的宽边，纵向插入波导管即成，用以部分衰减传输功率，沿着宽边移动吸收片可改变衰减量的大小。衰减器起调节