全自动晶圆电镀系统软件开发.pdfVIP

学兔兔 全 自 动 晶 圆 电 镀 系 统 软 件 开 发 口 桂志刚 。 口 陆利新 口 明志发 口 王博文 z 口 郭 帅 1．上海 市 智 能 制 造及 机器 人 重 点 实 验 室 上 海 200072 2．上海 新 阳 半 导体 材 料 有 限 公 司 上 海 200073 摘 要 ：根据 客 户 需求 自主 开 发 全 自动 晶 圆 电镀 设备 ，研究 了基 于 LabVIEW 模 块 化 控 制 系 统 的设 计 ．完成 了 多线 程 协 调 控 制 以 及 多 线程 问数 据 交换技 术 ，实现 了时 晶 圆 自动 化 电镀 设 备 的协 调 控 制 ，达到 预 期 设计 的 目的 。 关 键词 ：LabVIEW 多线 程 晶 圆 电镀 中图分类号 ：TH165 文献标识码 ：A 文章编号 ：1000—4998(2015)04—0022—04 晶 圆 通 过 多 道 工 序 加 工 后 形 成 特 定 电 气 特 性 的 通 过 国 内 外 调 研 发 现 ， 常 见 的 全 自 动 晶 圆 电 镀 系 IC芯 片 ，在所 有 的 工 序 中 电 镀 工 艺 是 其 内 逻 辑 电 路 形 统 布局方 式】 有：①环形 布局 ，自动化 程度 高 ，效率 高 ， 成 的关 键 ，晶 圆 在 光 刻 后 须 经 电 镀 工 艺 才 能 完 成 电路 工 件 露 空 时 间 短 以 及 运 行 平 稳 。 适 用 于 镀 层 质 量 要 求 的 布 线 以 及 凸 点 的 形 成 ，以实 现 芯 片 内 部 结 构 的 搭 建 。 高 、大批 量 、形状 单 一 、工艺 成 熟 的 电 镀 ；② 直 线 式 布 目 前 国 内 市 场 上 的 晶 圆 电 镀 设 备 大 多 数 为 分 离 的 局 ，自动 化 程 度 高 。适用 于 不 同 形 状 、不同 批 量 零 件 的 单 体 设 备 ，结构 封 闭 和 生 产 工 艺 流 程 固 定 ；另外 其 控 制 电 镀 ，生产 时 间 灵 活 ，可用 于 多 种 生 产 工 艺 的 电 镀 ，电 系 统 多 由 PLC控 制 ，自动 化 程 度 低 ，数据 处 理 能 力 弱 ，