第2章.电子光学基础(新)综述.ppt

第二章 电子光学基础;课堂要点：;§2－1 电子射线的特性;德布罗意波－物质波;二. 电子波的波长;电子的运动速度;电子波长的一般计算公式;电压≤30kV的波长公式;注意：当U＞30kV时;电压＞30KV时 波长的计算公式;加速电压＞30kV时电子波的波长;§2－2 电子枪;1.热电子发射电子枪;热电子发射型电子枪;电子枪的构成 ;LaB6单晶灯丝;电子枪的工作原理 ;2. 场发射型电子枪;场发射型电子枪阴极;场发射式电子枪的优、缺点;§2－3 电磁透镜;1. 电 磁 透 镜的结构;电子在匀强磁场中的运动;② V 垂直于磁力线, e做匀速圆周运动;③ V与磁力线斜交,e做圆锥螺旋线运动;有软铁壳的电磁透镜;有极靴的电磁透镜;带铁壳和极靴的电磁透镜剖面图;电磁透镜部件图;电磁线圈与极靴;有极靴;2.电磁透镜的像差;（1）球差：;式中：Cs是球差系数（定数） α 是磁透镜的孔径半角;（2） 像散;式中：ΔfA 是焦距差 α 是磁透镜的孔径半角;（3）色差;式中：Cc是色差系数 α 是磁透镜的孔径半角 ΔE / E 电子束能量变化率;3.电磁透镜的分辨率;（1）衍射效应对分辨率的影响;点光源成像时形成的埃利斑;通常用埃利斑第一暗环的半径来度量。 根据衍射理论：埃利斑的半径;把埃利斑半径R0 /M折算到物平面上;（2）像差对分辨率的影响;（3）磁透镜的分辨率;4.电磁透镜的景深与焦长;（2）电磁透镜的焦长（DL）;课堂练习：;