多晶硅铸锭工艺流程精选.pptx

多晶硅铸锭工艺;目录 1、研究背景 2、多晶硅铸锭的实验方法 3、铸锭车间生产流程 3.1 喷涂工序 3.2 装料工序 3.3铸锭工序 4、硅锭项目检测;1、研究背景 ;2、实验方法 ;3、铸锭车间生产流程 3.1 涂层工序 ;3、检查涂层 在喷涂坩埚侧壁的过程中需用挡板遮住坩埚底部，约为侧壁3／4的地方。喷涂和刷涂过程中要均匀使液体凝聚，涂层必须满足均匀、无气泡、无脱落、无裂缝等。 4、注意事项 坩埚喷涂车间需要保持一定的温度，温度较低环境需在配比涂层时对纯水加热。车间工人必须穿防护服，戴过滤口罩，打开排风装置。 原料的杂质浓度会影响铸锭炉的化料时间，或铸锭炉在长晶等阶段出现异常，此时铸锭时间可能较一般工艺时间长2-4个小时，底部氮化硅的量太少会导致无法顺利脱模，硅锭底部开裂。而过量的氮化硅会覆盖住石英砂，从而导致引晶效果不明显，因此要在铸锭中???出适当的调整。 ; 3.2装料工序;2、装料; 3.3铸锭工序;退火 因在长晶阶段硅锭存在温度梯度，内部存在应力。若直接冷却出炉，硅锭存在隐裂，在开方和线切阶段，外力作用会使硅片破裂，退火的作用是使硅锭内部温度一致，消除硅锭内的应力。;注意事项; ; ; ;