基于声发射技术的KDP晶体表面波纹度在线监测研究.pdfVIP

Techn010gyandTesf工艺与检测 基于声发射技术的KDP晶体表面波纹度在线监测研究 关佳亮 马新强 ‘朱生根 张孝辉 ( 北京工业大学机械工程与应用电子技术学院，北京 100124； 雪北京工研精机暇防有限 司，北京 101312) 摘 要：基于声发射检测技术对 KDP晶体表面波纹度进行在线监测。分析研究KDP晶体飞刀切削加工时 表面波纹度与声发射特征信号之间的规律 ，建立了KDP晶体表面波纹度与声发射信号特征值之 间 的映射关系，实现了对 KDP晶体飞刀切削时工件表面波纹度的在线准确监测。 关键词：声发射 ；KDP晶体 ；表面波纹度 ；在线监测 中图分类号 ：TG58 文献标识码 ：A ResearchonsurfacewavinessofKDPcrystalbasedonacousticemissiontechnology GUANJialiang ，MAXinqiang。ZHU Shenggen。ZHAN(．Xiaohui’ ， ． (①CollegeofMechani(-alEngineel’ingApplie(IElectronicsTe(I·moh)gy，BeijingUniversityotI’e(-hnoh)gy， Beijing100124，CHN； ②BeijingP1_P(i·sionMach·ineO,EngineeringResemhCo．，Ltd．，Beijing101312，CHN) Abstract：Theon—linemonitoringofKDPeDstalsurfaoewavinessiSconduete(I1)ase(1Onacousticemissiontesting te(’hn()h)gy．rhelaw between KDP cUcstalsurfacewavinessandacousticemission signaleigenve(t0l’is analyzed，themappingrelationbetweenKDPcrystalsurfacewavinessand acousticenfission signalei- genvalueisestablished．realizestheaccurateon．1inemonitoringofworkpiece surfa(P·wavinessin the pro(~essofKDPel’ystalflycutting． Keywords：acousticemission；KDPel’ystal；surfa(,ewaviness；onlinemonitoring KDP(potassiumdihydrogenphosphate，简称 KH，PO4) 性波的现象 。借助声发射枪测系统采集、记录、分 品体足20世纪40年代发现的一种性能优 良的非线性光 析声发射信号并对声发射源的性质进行评定的技术被 学材料 由于同时具有较大的非线性光学系数 、较宽的 称为声发射技术。声发射技术的独特优点是能够进行 透光波段 、较高的激光损伤阈值、优 良的光学均匀性和易 实时、在线无损检测 ，且具有较高的灵敏度。 于，E长大 寸 品体的5大优点，所以KDP晶体是唯一 本文利用声发射检测技术对 KDP品体表面波纹 能被川作激光变频器、电光调制器和光电快速开关等现 度进行在线监测，分析研究KDP品体飞厂J切削加工时 代‘高科技领域元件的