第三节发电型传感器-2-压电总汇.ppt

第三章 信 号 的 获 取;第三节 发电型传感器 ;二、压电式传感器 ;具有压电效应的材料称为压电材料 压电晶体，即：天然的单晶体，如天然石英晶体等 压电陶瓷，即：人工制造的多晶体，如钛酸钡、锆钛酸铅(简称PZT)等 有机聚合物的铁电体加工而成的压电薄膜是一种柔性薄膜压电新材料，常用的有：聚偏氟乙烯(PVF2)等 适于特殊表面形状上的测力，是一种很有前途的压电材料 天然晶体性能稳定、机械性能好；人造晶体的灵敏度较高 应用领域不同 压电陶瓷和压电薄膜等人造压电材料需作极化处理后才具有压电性能 人造压电材料在高压电场下放置数小时，使内部晶体整齐排列 只有通过极化处理，这种材料才能实际应用;天然石英晶体的结晶体是一种六角形晶柱 三根轴线。 (1)光轴：纵轴线oz (2)电轴：通过六角棱线而与光轴垂直 的轴线ox (3)机轴：垂直于棱面和光轴的轴线oy 从石英晶体内取出一片长方体晶体片 其各棱边与各轴平行 ;受力方向不同，引起压电晶体切片的不同变形，可在不同表面上测得电荷 实用压电效应有三种类型(见上图) 虚线表示压电晶体切片的原始形状 实线表示压电晶体切片的受力变形后的形状 图(a)是纵向压电效应，压电片在x方向上受正向应力 变形后在垂直于x方向的平面上产生电荷 图(b)是横向压电效应，压电片在y方向上受正向应力 则它还在垂直于x方向的平面上产生电荷 图(c)是切向压电效应，压电片在y方向上受切向应力 则在垂直于x方向的平面上产生电荷;压电片在某特定平面上所产生的电荷量可由下式决定 ;石英晶体受力后在表面上产生电荷，其机理可用晶胞模型说明 石英晶体是一种二氧化硅(SiO2)结晶体(见上图) 该图是由 z 方向观察的，图中的大圆是硅原子，小圆为氧原子，因硅原子带4个单位正电荷，氧原子带2个单位负电荷，各原子的电荷平衡，整个晶胞呈中性，如图(b)所示 模型简化后，让每个氧原子带4个单位负电荷，得到图中(b)的晶胞模型，其各方向对称;在x轴方向上施加压力，使晶胞变形 (图c)，带正电荷的硅原子1与带负电荷的氧原子4之间距离变小，氧原子2、6与硅原子3、5更接近两表面，原子间电场不平衡，使沿x轴方向改变距离的两种原子两端出现极性相反的游离电荷——纵向压电效应 在y轴方向上施加压力(见图d)，硅原子3、5和氧原子2、6皆被压入 在y轴两端电场相对平衡，y轴两端没有游离电荷，在x方向两端电场失去平衡而产生电荷——横向压电效应 应用压电晶体受力变形产生表面电荷的原理，可以做成两种类型的传感器 ;右图是压电式力传感器的结构图 为提高传感器的灵敏度往往采用两片压电晶体片对放 被测力作用在弹性顶盖上，直接传递到压电片上;右图是三向力传感器，它可分别测出x，y，z三个方向分量的合成力 内部含有感知三个方向力的压电片元件(图a) 每一方向有两片敏感压电片 为了能分别感知3个方向的分力，三组压电片利用了两种不同的压电效应 利用横向或纵向压电效应感受z方向正压力 利用剪切压电效应感受x和y方向侧向压力 三对压电片电荷分别反映三个方向力的分量;压电晶体在受力变形后所产生的电荷量极其微弱 压电片本身的内阻很大，压电片输出的功率极为微弱 后续放大电路主要有两个方面的特殊要求： 高灵敏度 高输入阻抗 只有满足这些要求，才能把微弱的电荷信号测量出来 现在采用下列两种形式： 电压放大器 电荷放大器;为了有效集中电荷，在压电晶体片两个工作表面镀覆薄金属层(图a) 压电晶体片接入电路，既是一个电荷源(q)，又是一个小电容器(Ca) (图b) 压电片至放大器之间的两输出引线间存在着寄生电容(Cc)，也在微弱电荷测量中起作用，需考虑输人等效电路 后续放大器从输入端观察，可等效为一总的等效电容(Ci)和等效电阻(Ri);压电片在未接入电路前，若它两表面上存在电荷量q，两极板的电位差为： ;(1)电压放大器 ;(2) 电荷放大器;(2) 电荷放大器;(2) 电荷放大器;The End