基于开关电容的电容传感器接口电路设计与测试.pdfVIP

工业仪表与 自动化装置? ????年第 ?期? 基 于开 关 电容 的 电容 传 感 器? 接 口 电路 设 计 与 测 试? 邢文奇 ，胡红利，罗政元? ?西安 交通大学 电力设备 电气绝缘国家重点实验室，西安 ???????? 摘要：电容传感器 已广泛应 用于压力、压差、位移 、加速度、振动等非电量的精 密测量，参比电容? 传感器有望用于气固两相流测量等领域 ，而接 口电路是 电容传感器应用中的核心和关键技术。基? 于开关电容原理开发 的电容传感器接 口电路 ，从原理上消除 了电路 中寄生电容的影响和直流偏移，? 使 得 电容传 感 器的应 用更加 广泛 。在 活塞 式压力校 验 台上 ，对开 关电容接 口电路 进行 了性 能测 试 。? 结果表明，开关电容接 口电路迟滞误差为 ?．??％ ，非线性误差为 ?．??％ ，重复性误差为 ?．??％，可? 应用于参比电容传感器测量 系统。? 关键 词 ：电容 传感 器 ；开关 电容 ；接 口电路 ；压 力传感 器 ；标 定? 中图分类号 ：?????．??? 文献标志码 ：?? 文章编号：????— ????????????— ????— ??? ?????????????????????????????????????????????????????????? ???????????????????????????? ?????? ????，????????，?????????????? ?????????????????????? ??????????????????????????????????