基于有限状态机的集群式硅片传输控制系统设计.pdfVIP

? 学兔兔 ?? 訇? 似? 基于有限状态机的集群式硅片传输控制系统设计? ?????????????? ?????????????? ???????????????????????????? ????????????????????????? 王海升 ，穆海华 ，尹文生? ???????????????， ? ?????．???， ????? ??。?????? ?清华大学 摩擦学国家重点实验室 ，北京 ???????? 摘 要 ：集群式?装备硅片传输控制系统是高度复杂的离散事件动态系统 ，复杂逻辑调度是控制系统设? 计的核心问题。硅片传输设备的个体行为逻辑和协作行为逻辑都具有严格的时序性，有限状? 态机模型能够有效描述这一控制特征。利用有限状态机建立了硅片传输设备的个体行为分层模? 型，作为控制系统的基础 ；同时建立了具有强时序性的逻辑调度任务状态模型；从设备协作的? 角度讨论了有限状态机之间的同步问题和基于状态机协同的异常处理模式。自上而下的状态机? 体系成为控制软件系统的主体 ，使得装备的所有行为都在该体系的约束和引导下进行。应用实? 例表明，有限状态机在装备行为建模方面有广泛的应用潜力。? 关键词 ：逻辑调度 ；有限状态机 ；硅片传输 ；集群式? 中图分类号 ：????；????? 文献标识码 ：?? 文章编号：????— ???????????????下?一????— ??? ???：???．????／?．????．???????????．?????．???下 ?．??? ? 引言? 的关 键信息，以状 态及状态 间的跃迁来引导、约? 集成 电路制造?????厂是高度 自动化的系统 。? 束装备行为控制流 是处理复杂逻辑的有效途 径 ，? 集成 电路 制造 过程 中，硅 片经历 几十 道 精密 工? 也 是 本文 的切 入点 。? 序 ，在上百 台设备 间和设备 内部流转，硅片传输? 本文 以?????集群式??装备硅片传输系统为? 系统长期可靠运行Ⅲ。同时，为了保证清洁环境 ，? 依托 ，从 装备 固有 的行为规则 出发 ，以处理 复杂? 减 小 干 扰 ， 整个 加 工 过 程 的人 工 参 与 度 极 低 。 如? 行为规则 、提高运行可靠性为 目标 ，阐述 了利用? 何实现正确 、可靠和高效的硅片传输行为控 制成? 有限 状 态机 进 行 控 制 系统 建 模 的 方 法 ；并 且 对基? 为 ??装备研 发 中亟待 解决 的 问题口?】。? 于 状 态机 的控 制