材料现代研究方法11电子显微镜.pptVIP

电子显微镜;光学显微镜分辨本领;光学显微镜分辨本领;电子光学基础 —— 光学显微镜的局限性;电子光学基础 —— 光学显微镜的局限性;电子的粒子性 质量：9.1095 × 10-23 克； 电量：－1.602 × 10-10 库仑； 在电子显微镜中，电子的加速电压一般在几十千伏以上，根据相对论，电子的质量随速度的增加而增大。 电子的波动性 ;电子波长;阴极发光 ;电子光学基础 —— 静电透镜;电子光学基础 —— 静电透镜;电子光学基础 ——电磁透镜;电磁透镜 磁场B对电荷量为-e和速度为v的电子的作用力，即洛伦兹力，其矢量表达式： F= -e(v ×B) F力的大小为： F=evBsin(v,B) F力垂直于电荷运动速度v和磁感应强度B所决定的平面，F的方向按矢量叉积（B× v ）的右手法则来确定。 ;电磁透镜;电子光学基础 ——电磁透镜;透射电子显微镜;1924年，德布罗意（ de Broglie）提出电子具有波动性； 1926年，布什（Busch）发现旋转对称非均匀磁场可作为电磁透镜； 1931年，Rudenberg 提出电子显微镜的概念并提出专利申请； 1933年，克诺尔（Knoll）和卢斯卡（Ruska）制造出第一台电子显微镜； 1936年，Boersch证明了电子束经过电磁透镜聚焦后在后（背）焦面上形成衍射花样； 1939年，西门子公司生产出第一批商品透射电子显微镜； 1944年，Le Poole在电子显微镜中加入衍射透镜（即中间镜）和选区光阑后实现选区电子衍射； 20世纪50年代，Ruska在商业电子显微镜中实现选区电子衍射； 20世纪60年代，会聚束电子衍射实现；;仪器的发展;透射电子显微镜的主要功能;电子光学基础 ——电磁透镜的像差;电子光学基础 ——电磁透镜的像差;电子光学基础 ——电磁透镜的像差;电子光学基础 ——电磁透镜的像差;电子光学基础 ——电子光学系统的分辨率;电子光学基础 ——电子光学系统的分辨率;电子光学基础 ——场深和焦深;电子光学基础 ——场深和焦深;透射电子显微镜 ;照明系统由电子枪、聚光镜和相应的平移对中、倾斜调节装置组成，其作用是提供一束亮度高、相干性好和束流稳定的照明源。通过聚光镜的控制可以实现从平行照明到大会聚角的照明???件。为满足中心暗场成像的需要，照明电子束可在2°～3°范围内倾斜。 ;照明系统;为了提高照明亮度，随后发明了电子逸出功小的六硼化镧（LaB6）作阴极。它比钨丝阴极的亮度高1～2数量级，而且使用寿命增长。 ;目前亮度最高的电子枪是场发射电子枪（FEG：field emission gun），其结构原理如图1.6所示。在金属表面加一个强电场，金属表面的势垒就变小，由于隧穿效应，金属内部的电子穿过势垒从金属表面发射出来，这种现象称为场发射。;二、聚光镜 人们把静电场做成的透镜称为“静电透镜”（如电子枪中三极静电透镜），用电磁场做成的透镜称为“电磁透镜”。透射电子显微镜的聚光镜、物镜、中间镜和投影镜均是“电磁透镜”。;1.2 构造及其特性;1.2.2 多功能样品室;透射电子显微镜 —— 镜筒;成像系统;透射电子显微镜 —— 镜筒;透射电子显微镜 —— 镜筒;透射电子显微镜 —— 镜筒; 构造及其特性; 图像观察与记录系统;1.2 构造及其特性; 理论分辨本领极限 ; 理论分辨本领极限 ; 理论分辨本领极限 ; 理论分辨本领极限 ; 理论分辨本领极限 ; 理论分辨本领极限 ;THE END