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5压力检测和仪表
压力检测及仪表 ;3.压力表分类:
(按信号转换原理不同)分为以下四类:
1)液柱式压力计
将被检测压力转换成液柱高度差进行测量的压力计.
如:U形管压力计,斜管压力计等.
2)弹性式压力计
将被测压力转换成弹性元件变形所引起的位移而进行测量的压力计.
如:弹簧管压力计,波纹管压力计,膜盒压力计.
3)电气式压力计
将被测压力转换成电量进行压力测量的压力计。
如:压电式压力计、应变片式压力计、霍尔压力计。
4)活塞式压力计
将被测压力转换成活塞上所加砝码重量进行测量的压力计。它是一种标准型压力计,对其它类型的压力计进行校验。;一.霍尔压力传感器
属于位移式压力传感器,是利用霍尔效应,是将P作用下所产生的弹
性元件的位移信号转变成电势信号来测量压力。
P→弹性元件(变形)??霍尔效应→V(mv)→显示
1)霍尔效应
霍尔片是一块锗半导体薄片。
当霍尔片中流过电流时,电子受磁场力(方向可由左手定则确定)的
作用,其运动方向(与电流方向相反)将发生偏移,使得在“X轴方向的
一个端面上造成电子积累而形成负的表面电荷,而在另一端面上则正电
荷过剩,于是在“X轴方向出现了电场。由于电场的建立,产生了电场
力,电场力阻止电子的偏移。当磁场力与电场力相平衡时,电子积累达
到了动态平衡,这时就建立了稳定的霍尔电势:
式中:RH—霍尔常数(视霍尔片材料、结构而定);2)霍尔压力传感器
基本结构(如图)
a)压力—位移转换部分
霍尔片、弹簧管组成
b)位移—电势转换部分
霍尔片、磁钢及引出线
c)稳压电源
;二.压电式压力传感器
利用压电材料(功能材料)的压电效应做成的传感器
1)压电效应
压电材料在沿一定方向受到压力或拉力作用时发生变性,并在其表面上产生电荷,去掉力时,又回到原不带电的状态。在蛋形范围内,电荷为:
式中:S—作用面积; K—压电常数
常用压电材料:石英晶体、压电陶瓷(钛酸钡陶瓷;钛酸鉛系列陶瓷)
2)压电式压力传感器
结构:(如图)
压电元件夹于两弹性片之间,一膜片接地,另一膜片通过金属箔和引出线 将电量引出。
特点:
体积小,结构简单,工作可靠;动态质量小,固有频率高,不需外加电源;适应工作频率高的压力测量,范围0~70MPa;输出阻抗高;温度效应较大,环境适应有限。;三.电容式压力传感器
1、原理
将被测压力通过弹性膜片的位移转换为平行板电容器的电容量
平行板电容器电容量为
式中: —平行极板间的介电常数;
s—极板的面积;
d—平行极板间的距离
电容变换器通常有:
a)变间隙式(d)
b)变面积式(s)
c)变介电常数(E);2、变间隙式电容压力传感结构:
差动电容的活动极板
感压元件:弹性膜片(弹性稳定性好特殊合金制成,如合氏合金、蒙耐尔合金等)可左右移动约0.1 mm的距离。
固定电极供极板
在弹性膜片左右有两个用玻璃绝缘体磨成的球形凹面,采用真空渡膜法在该表面镀上一层金属薄膜,作为差动电容的固定极板。
弹性膜片位于两固定极板的中央,它与固定极板构成两个测压室,压室填充硅油。;三、压阻式压力传感器
1、原理
基于单晶硅半导体的压阻效应而构成的。
采用单晶硅平膜片为弹性元件,在单晶硅平膜片上利用集成电路工艺,
在单晶硅的特定方向制成扩散压敏电阻。
单晶硅平膜片在微小变形时有良好的弹性特性。当硅片受压后,膜片的
变形使扩散电阻的阻值发生变化。
相对电阻变化为:
式中 Ke —压阻系数; —应力
; 2、压阻式压力传感器的结构
单晶硅平膜片的扩散电阻通常做成桥式测量电路,相对的桥臂电阻对称布量,电阻变化时,电桥输出电压与膜片所受压力成对应关系。
平膜片在圆形硅杯的底部,硅杯内外两侧分别感受被测压力与参考压力,压差使膜片变形,膜片上的两对电阻的阻值发生变化。
温度效应的影响,一般还可在膜片上沿对压力不敏感的晶向生成一个电阻,这个电阻只感受温度 变化,可接人桥路作为温度补偿电阻.以提高测量精度。;3、特点:
精度高,工作可靠,频率响应高,结构简单;可使用在环境恶劣的条件下,便于实现显示数字化。压阻式压力传感器不仅可以用来测量 压力,稍加改变也可用来测量差压、高度、速度、加速度等参数。
; 智能型压力(差压)变送器
为满足集散控制系统和现场总线控制系
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