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5压力检测和仪表

压力检测及仪表 ;3.压力表分类: (按信号转换原理不同)分为以下四类: 1)液柱式压力计   将被检测压力转换成液柱高度差进行测量的压力计.   如:U形管压力计,斜管压力计等. 2)弹性式压力计  将被测压力转换成弹性元件变形所引起的位移而进行测量的压力计.   如:弹簧管压力计,波纹管压力计,膜盒压力计. 3)电气式压力计 将被测压力转换成电量进行压力测量的压力计。 如:压电式压力计、应变片式压力计、霍尔压力计。 4)活塞式压力计 将被测压力转换成活塞上所加砝码重量进行测量的压力计。它是一种标准型压力计,对其它类型的压力计进行校验。;一.霍尔压力传感器 属于位移式压力传感器,是利用霍尔效应,是将P作用下所产生的弹 性元件的位移信号转变成电势信号来测量压力。 P→弹性元件(变形)??霍尔效应→V(mv)→显示 1)霍尔效应 霍尔片是一块锗半导体薄片。 当霍尔片中流过电流时,电子受磁场力(方向可由左手定则确定)的 作用,其运动方向(与电流方向相反)将发生偏移,使得在“X轴方向的 一个端面上造成电子积累而形成负的表面电荷,而在另一端面上则正电 荷过剩,于是在“X轴方向出现了电场。由于电场的建立,产生了电场 力,电场力阻止电子的偏移。当磁场力与电场力相平衡时,电子积累达 到了动态平衡,这时就建立了稳定的霍尔电势: 式中:RH—霍尔常数(视霍尔片材料、结构而定);2)霍尔压力传感器 基本结构(如图) a)压力—位移转换部分 霍尔片、弹簧管组成 b)位移—电势转换部分 霍尔片、磁钢及引出线 c)稳压电源 ;二.压电式压力传感器 利用压电材料(功能材料)的压电效应做成的传感器 1)压电效应 压电材料在沿一定方向受到压力或拉力作用时发生变性,并在其表面上产生电荷,去掉力时,又回到原不带电的状态。在蛋形范围内,电荷为: 式中:S—作用面积; K—压电常数 常用压电材料:石英晶体、压电陶瓷(钛酸钡陶瓷;钛酸鉛系列陶瓷) 2)压电式压力传感器 结构:(如图) 压电元件夹于两弹性片之间,一膜片接地,另一膜片通过金属箔和引出线 将电量引出。 特点: 体积小,结构简单,工作可靠;动态质量小,固有频率高,不需外加电源;适应工作频率高的压力测量,范围0~70MPa;输出阻抗高;温度效应较大,环境适应有限。;三.电容式压力传感器 1、原理 将被测压力通过弹性膜片的位移转换为平行板电容器的电容量 平行板电容器电容量为 式中: —平行极板间的介电常数; s—极板的面积; d—平行极板间的距离 电容变换器通常有: a)变间隙式(d) b)变面积式(s) c)变介电常数(E);2、变间隙式电容压力传感结构: 差动电容的活动极板 感压元件:弹性膜片(弹性稳定性好特殊合金制成,如合氏合金、蒙耐尔合金等)可左右移动约0.1 mm的距离。 固定电极供极板 在弹性膜片左右有两个用玻璃绝缘体磨成的球形凹面,采用真空渡膜法在该表面镀上一层金属薄膜,作为差动电容的固定极板。 弹性膜片位于两固定极板的中央,它与固定极板构成两个测压室,压室填充硅油。;三、压阻式压力传感器 1、原理 基于单晶硅半导体的压阻效应而构成的。 采用单晶硅平膜片为弹性元件,在单晶硅平膜片上利用集成电路工艺, 在单晶硅的特定方向制成扩散压敏电阻。 单晶硅平膜片在微小变形时有良好的弹性特性。当硅片受压后,膜片的 变形使扩散电阻的阻值发生变化。 相对电阻变化为: 式中 Ke —压阻系数; —应力 ; 2、压阻式压力传感器的结构 单晶硅平膜片的扩散电阻通常做成桥式测量电路,相对的桥臂电阻对称布量,电阻变化时,电桥输出电压与膜片所受压力成对应关系。 平膜片在圆形硅杯的底部,硅杯内外两侧分别感受被测压力与参考压力,压差使膜片变形,膜片上的两对电阻的阻值发生变化。 温度效应的影响,一般还可在膜片上沿对压力不敏感的晶向生成一个电阻,这个电阻只感受温度 变化,可接人桥路作为温度补偿电阻.以提高测量精度。;3、特点: 精度高,工作可靠,频率响应高,结构简单;可使用在环境恶劣的条件下,便于实现显示数字化。压阻式压力传感器不仅可以用来测量 压力,稍加改变也可用来测量差压、高度、速度、加速度等参数。 ; 智能型压力(差压)变送器 为满足集散控制系统和现场总线控制系

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