微间隙超精界面间流体流动特性与润滑机理研究-北京交通大学科学技术处.doc

公示材料 项目名称：微间隙超精界面间流体流动特性与润滑机理研究 申报奖种：自然科学奖 候选单位：北京交通大学 候选人：1、 张朝辉，2、刘思思，3、刘俊铭，4、孙跃涛，5、章建群 项目简介：本项目属于先进制造与工业技术领域 超精界面间流体的运动对现代机械的精度、寿命、可靠性等具有决定性作用，为适应环保和成本等方面的要求，以水为基础液的润滑剂得到广泛应用，其纳米级的流动规律和润滑机理则为目前研究的空白。本项目的主要创新性工作在于： 1) 针对纳米级有序润滑膜的智能润滑机理，建立了纳米级薄膜润滑的模式化和量化研究模型。在考虑介质分子运动的动量和角动量守衡条件下，利用具有微结构的连续体力学，模拟了薄膜润滑性能，得到了液体分子有序性与成膜性能和润滑特性间的变化规律,丰富了润滑理论。 2) 将薄膜润滑理论与化学机械抛光(CMP)中流体的流动联系起来，模拟了纳米颗粒的行为。固体粒子将提高抛光液的等效黏度及承载能力，抛光效果依赖于固体粒子尺寸。用Darcy模型表征了多孔性抛光垫中流体的运动特性，揭示了提高材料去除率的原因在于：小孔径尺寸和较厚的孔质层有较大的承载能力。研究了CMP温度场分布和相应的材料去除机理，并从理论上解释了CMP过) 针对水基润滑液润滑性能较差的缺点，在水中加入了几种聚氧乙烯基醚（醇乙氧基化产物），分别对水基润滑液的流变特性、成膜特性、减摩抗磨特性以及抗磨极压特性进行了系统的研究。研究质量浓度、载荷、转速和表面粗糙度对其减摩抗磨性能的影响；分析了试样磨痕的表面形貌，并结合XPS分析出磨痕表面生成物的成分做了机理分析。 4) 分析了两微小平面在分离过程不同表面亲水/疏水性能、初始液面高度、分离距离等对弯月面形状和弯月面力的影响。制备了硅基底超疏水表面，探究了粗糙度和固体表面自由能对润湿性能的协同影响，并分析了接触角随粗糙结构尺寸的变化规律。基于Gibbs最小能量法则，揭示了水滴在亲水织构化表面发生润湿状态转变的机理。 本项目始自2004年项目组已在Science in China, Journal of Tribology-transactions of the SAME, Tribology International, Chinese Science Bulletin, Advanced Science Letters., Key Engineering Materials 和《物理学报》、《机械工程学报》、《摩擦学学报》等国际、国内重要的学术期刊上发表了论文SCI他引次”(World Journal of mechanics. 2011, 1:169-175) 经Google Scholar检索，发表的一年半的下载达1570余次。 主要完成人情况表 排名 姓名 技术职称 工作单位 完成单位 对本项目贡献 1 张朝辉 教授 北京交通大学 北京交通大学 贡献：本项目的负责人，全面参与了所有研究工作。针对受限于超精界面间微流体的运动规律和机理进行究，进行了纳米级薄膜润滑、化学机械抛光、水基润滑改性和超疏水微纳米界面制备等方面的工作。 支撑材料见检索报告。 占本项目研究工作百分比：70% 2 刘思思 讲师 北京交通大学 北京交通大学 贡献：主要体现在超精密化学机械抛光中纳米级流动规律的实验与理论研究和微/纳机电系统相关的微表面加工与改性技术方面。 支撑材料见检索报告。 占本项目研究工作百分比：15% 3 刘俊铭 中级 北京交通大学 北京交通大学 贡献：在水基润滑液改性方面，进行了聚醚溶液润滑性能的研究。 支撑材料见检索报告。 占本项目研究工作百分比：5% 4 孙跃涛 中级 北京交通大学 北京交通大学 贡献：水基润滑液改性方面，开展了月桂酸无规则共聚醚水基润滑液抗磨改性研究。 支撑材料见检索报告。 占本项目研究工作百分比：5% 5 章建群 副教授 北京交通大学 北京交通大学 贡献：在超精密化学机械抛光中纳米级流动规律的实验与机理研究中，开展了化学机械抛光机理研究。 支撑材料见检索报告。 占本项目研究工作百分比：5% 附录：代表性论文目录 不超过10篇代表性论文、专著 序号 论文、专著 名称/刊名/作者 影响因子 年卷页码 年（卷）：页码 发表年月 通讯作者/第一作者（中文名） SCI 他引次数 他引 总次数 是否国内完成 1 Research on thin film lubrication: state of the art/Tribology International/张朝辉 1.553 2005，38（4）：443-448 2005-03 张朝辉/张朝辉 15 是 2 Analysis on mechanism of thin film lubrication /Chinese Science B