机电一体第三章传感器和转换器.pptVIP

第三章 传感器和转换器 ; 3．1 概 述 ;传感器、转换器定义;数据测量时的前处理和后处理;例：用码盘、光敏传感器测量;传感器传递信息的物理基础是能量转化。 有6种能量形式可用于信息传递。 其中，电能在机电一体化系统中最为重要，这是因为电信号易于处理。当然其他能量形式也能转换为电信号。 ;无源和有源传感器;3.1.1传感器和转换器的分类 ;典型被测机械参量;测量时的性能指标;输出信号种类 ;;3．1．2传感器技术的发展;新型转换器;固态转换器;光电转换器 ;压电转换器;超声转换器 ;3．2 电阻型传感器 ;电位器;电位器;应变片;电阻的变化(即应变)通常是由图所示的电桥测量的。由应变产生的不平衡电位为 对于电阻变化较小的情况为;按材料分： 金属式体型——丝式、箔式、薄膜型 半导体式体型——薄膜型、扩散型、外延型、PN结型 按结构分： 单片、双片、特殊形状 按使用环境： 高温、低温、高压、磁场、水下 金属丝式 Ф0.025mm金属丝（康铜、镍铬合金、贵金属）做敏感栅 金属箔式 用光刻腐蚀工艺、照相制版制作成厚0.003-0.01的金属箔栅， 金属薄膜式 用真空溅射或真空沉积技术，在绝缘基片上蒸度几～几百纳米金属电阻薄膜。;;;电阻温度计;因为热电阻的阻值很小，而由温度变化引起的阻值变化也非常小，所以由导线电阻和接触电阻引入的误差就不能忽略。因此改用如图所示的三线连接。图中，电阻温度计为Rt，导线电阻为r1、r2、r3，一般设定R1=R2=R为两桥臂电阻，R3是调整电桥精密电阻。;半导体热敏元件;3．3 电容式传感器;平行板电容器;圆柱形电容器;;电容器也可以与一个振荡器组合起来作为一个调谐电路，电容值改变将使振荡频率发生改变，其频率改变量由一对谐振电路的输出电压差测出，如图所示，将两谐振电路分别调到稍微不同的谐振频率即可。这时放大器的输出就是关于参考频率fr的近似线性变量。 ;变间隙式电容传感器可用来测量流体压力或压力差。 当流体压力使薄膜产生移动时，电容极板的间隙发生变化从而引起电容量的改变，其变化量为 需要测量压力差，特别是微小的压力差时，常采用差动式结构的电容传感器。如图。此结构灵敏度和线性度都较高。当有压差时，薄膜会向左或右移动，此时一个电容量在增加而另一个电容量在减少，电容的变化量为 ;差动式结构电容传感器应用实例一;差动式结构电容传感器应用实例二;3．4 电感式传感器 ;线性可调差动变压器;可调线性电感传感器;感应同步器 ;因为线圈间的耦合是变化的，滑块上线圈的电压可以表示为 X--对于零点处的位移； K--常数，与滑块线圈和导轨线圈间的耦合系数有关； p--绕组节距(一般为2mm) 从上式可知，这种传感器的输出电压，在一定条件下是呈正弦变化的。在几毫米的距离内，其分辨能力可达2～3μm的数量级。 这种感应式同步器是一个具有较短重复周期的增量编码器，对于大位移测量(刀具位移)，必须将其与别的较大的测量装置结合使用，以获得绝对位置。 当测量角位移时，可使用旋转式感应同步器。其滑轨是圆形的，滑块沿圆周运动，分辨率可达0.05s的数量级。;电感式速度传感器 ;3．5 热电传感器 ; 热电偶 ;热电偶的特性通常是相对于一个参考温度0℃来确定的，在许多应用中，参考触点的温度T，被置于被控环境中，使其温度保持在一非0 ℃值上，这就可以利用下式进行修正 e(Tm，T0)= e(Tm，Tr)+ e(Tr，T0) 式中：Tm是待测点温度，Tr是参考点温度，T0=0℃；而e(Tm，T0)、e(Tm，Tr)和e(Tr，T0)分别是各温差引起的电动势。e(Tm，Tr)是当热电偶工作在Tm和Tr，时的实测值，参考点Tr，到标准温度0 ℃ 的e(Tr,T0)可以通过查表得到，求得e(Tm，T0)后再查表可得到实际温度。 热电偶比较简单，可以直接使用，但其灵敏性较差，输出信号小，且易受噪声干扰，同时，它的机械负载特性差(尤其是当一个热触点拉紧时)。;3．6 光电传感器 ;3.6.1 光电探测器;热敏光电探测器;量子光电探测器;光电效应探测器 ;光敏电阻;光电池;光电二极管;光电三极管;光电倍增管 ;检测器阵列 ;场效应管读出电路;电荷耦合器件CCD ; 实用的CCD图像传感器有一维阵列和二维阵列两种，可用于光—机—电一体的精密系统。采用CCD的尺寸测量系统和定位系统，其优越性是机械式、光学式和电磁式测量仪都无法比拟的。它体积小、易安装，无需配以复杂的运动机构，从而减少了误差源。CCD器件已用于玻管吹制尺寸控制、数控机床刀具定位、固体粉末或悬浊液中粒径及分布测量、光学系统几何像差测量、显微镜的自动调焦、测光拍摄及视物筛选，还可用于小型零件尺寸测量、钞票缺