溶解氧电极微型化概述.pptVIP

溶解氧电极微型化的概述 黄冬冬 苏州旷腾水检测技术有限公司 2010年11月18日 苏州旷腾水检测技术有限公司保密文件，未经许可，不得以任何形式传播。; 主要内容： 电分析化学 三电极体系 溶解氧检测 微电极结构 微电极测试 ; 电分析化学：寻找可用于定性定量分析的关系和分析条件。 三电极体系：研究电极上电子的运动是电化学反应的基础，为了分别对电池或电解池的阴极，阳极发生的反应进行观察需用到三电极体系。 ;溶解氧 (DO) ：是指溶解在水中的氧气，它在河流、湖泊、海洋中都大量的存在，是评判水质和环境污染程度的重要指标。 目前常用检测方法 1.碘量法 2.电流测定法（Clark溶氧电极） 3.电导测定法 4. 荧光猝灭法 ;阴极被还原：O2+2H2O+4e→4OHˉ 阳极被氧化： 4Clˉ+4Ag-4e→4AgCl ;常规电极的缺点 体积大，能耗高，响应时间长，成本高等，因此应用领域受到限制。 常规微电极的制作工艺复杂，易碎，重复性差等，也使应用受到限制。 MEMS技术的发展 photolithography, electrodeposition, etching techniques 提高了集成度和可靠性，降低了成本，可实现微电极的批量生产。 ;溶解氧微电极的三种结构示意图; Clark 电极： 薄膜可以用硅树脂，