李智聪毕设终稿zuiz资料.docVIP

PAGE   PAGE \* MERGEFORMAT 26 深 圳 大 学 本 科 毕 业 论 文（设计） 题目: 球磨工艺对钨掺杂磷酸锂靶材性能的影响 姓名: 李智聪 专业: 材料科学与工程 学院: 材料学院 学号: 2011200036 指导教师: 杨海涛 职称: 教授 2015 年 4 月 22 日 深圳大学本科毕业论文（设计）诚信声明 本人郑重声明：所呈交的毕业论文（设计），题目《球磨工艺对钨掺杂磷酸锂靶材性能的影响》 是本人在指导教师的指导下，独立进行研究工作所取得的成果。对本文的研究做出重要贡献的个人和集体，均已在文中以明确方式注明。除此之外，本论文不包含任何其他个人或集体已经发表或撰写过的作品成果。本人完全意识到本声明的法律结果。 毕业论文（设计）作者签名： 日期： 2015年 4月 22日 目录 TOC \o 1-3 \h \u  HYPERLINK \l _Toc7731 摘要  PAGEREF _Toc7731 5  HYPERLINK \l _Toc19280 1.前言  PAGEREF _Toc19280 5  HYPERLINK \l _Toc30762 1.1陶瓷溅射靶材概述  PAGEREF _Toc30762 5  HYPERLINK \l _Toc19449 1.2磷酸锂靶材的发展现状  PAGEREF _Toc19449 5  HYPERLINK \l _Toc7333 1.2.1 Li3PO4的基本性质  PAGEREF _Toc7333 5  HYPERLINK \l _Toc29896 1.2.2 LiPON电解质薄膜概述  PAGEREF _Toc29896 6  HYPERLINK \l _Toc17055 1.2.3磷酸锂靶材的应用  PAGEREF _Toc17055 6  HYPERLINK \l _Toc30793 1.3 LiPON薄膜和磷酸锂靶材存在问题及改性  PAGEREF _Toc30793 7  HYPERLINK \l _Toc21481 2.陶瓷靶材工艺性质  PAGEREF _Toc21481 8  HYPERLINK \l _Toc31905 2.1粉体的特殊性质与制备方法  PAGEREF _Toc31905 8  HYPERLINK \l _Toc31588 2.2球磨的原理  PAGEREF _Toc31588 9  HYPERLINK \l _Toc20812 2.3造粒  PAGEREF _Toc20812 10  HYPERLINK \l _Toc25138 2.4压制方式  PAGEREF _Toc25138 10  HYPERLINK \l _Toc7188 2.5靶材烧结技术  PAGEREF _Toc7188 11  HYPERLINK \l _Toc31584 3.实验部分  PAGEREF _Toc31584 12  HYPERLINK \l _Toc32408 3.1实验试剂与仪器  PAGEREF _Toc32408 12  HYPERLINK \l _Toc31179 3.2实验流程  PAGEREF _Toc31179 13  HYPERLINK \l _Toc271 3.3实验步骤  PAGEREF _Toc271 13  HYPERLINK \l _Toc10838 3.3.1原材料及配方  PAGEREF _Toc10838 13  HYPERLINK \l _Toc13366 3.3.2球磨与混料  PAGEREF _Toc13366