PECVD装置的有限元分析及结构优化.pdfVIP

第7期 机械 设计 与制造 2013年 7月 Machinery Design Manufacture PECVD装置的有限元分析及结构优化 吴晓松，褚学宁 (上海交通大学 机械与动力工程学院，上海 200240) 摘 要 ：针对PECVD装置在真空高温工作环境下存在的热变形问题，运用有限元流一热一结构耦合分析方法，对装置结 构进行流固耦合传热特性分析，得出装置的稳态温度场分布情况，将分析结果作为装置流一热一结构耦合分析的边界条 件加载到装置结构上，求得装置在热载荷和结构栽荷综合作用下的变形情况。基于原有装置结构的分析结果，分析装置 变形的主要原因，提出可行的优化改进方法。有限元分析结果表明，装置变形是热载荷和结构载荷综合作用的结果，其中 热载荷为装置变形的主要因素；减小热载荷是控制装置变形，保证装置正常工作及可靠性的一个非常重要的因素。 关键词：PECVD装置；热变形；流—热一结构耦合分析；有限元；结构优化 中图分类号：THI6；TB115 文献标识码：A 文章编号：1001—3997(2013)07—0001—03 FiniteElementAnalysisandStructuralOptimizationofPECVDDevice WU Xiao-song．CHU Xue—ning (SchoolofMechanicalEngineering，ShanghaiJiaoTongUniversity，Shanghai200240，China) Abstract：InviewofthermaldeformationofPECVDdeviceinthevacuum andhightemperatureconditions，itcarrieson fluid-thermal-structuralcouplingnaalysis，studiesfluid-structuralcouplingheattransferchraacteristics，derivesthesteady— staretemperaturedsitributionofthedevice．andthentakestheresultsofthenaalysis boundaryconditoinsofthefluid— thermal-structuralcouplinganalyssi，nadobtainsthedeformationunderthejointactionofthermal-mechnaicalload．Basedon theanalyssioftheoriginaldevice，itanalyzesthemainreasonsofthedefomration，proposesfeasibleoptimizedmethod．The resuhsofthefiniteelementnaalysisshowthatthedeformationofthedevicesithecomprehensivefunctionofthethermalload nadstructuraloladwhilethefo，7neristhemainfactor；naditisakeyfactortocontroldevicedeformationandensurethe devcieworkingproperlyandreliabilitybyreducingthethemr al olad． KeyW 0r．1s：PECVEDevice；ThermalDeformation；Fluid-Thermal-StructuralCouplingAnalysis；FEM ；Structural Optimization 1引言 控制箱体变形的重要因素。 PECVD(PlasmaEnhancedChemicalVaporDeposition—等离 2PEC