“纳米制造的基础研究”重大研究计划研究进展.pdfVIP

学兔兔 第52卷第5期 机 械 工 程 学 报 Vo1．52 NO．5 2016年 3 月 JOURNALOFMECHANICALENGINEERING Mat． 2016 DOI：10．3901／JME．2016．05~68 “纳米制造的基础研究重大研究计划研究进展冰 王国彪 邵金友2 宋建丽 ， 赖一楠 (1．国家 自然科学基金委员会工程与材料科学部 北京 100085； 2．西安交通大学机械工程学院 西安 710049； 3．北京信息科技大学仪器科学与光 电工程学院 北京 1001921 摘要：国家 自然科学基金委员会(NationalNaturalScienceFoundationofChina，NSFC)重大研究计划 “纳米制造的基础研究” 瞄准学科发展前沿、面向国家发展的重大战略需求，旨在针对纳米精度制造、纳米尺度制造和跨尺度制造中的基础科学问题， 探索纳米制造过程的基本规律，发展若干原创性的纳米制造工艺与装备原理，为实现纳米制造的一致性与批量化提供理论基 础。介绍 “纳米制造的基础研究”重大研究计划实施 6年来的申请、资助情况和实施过程中采取的管理举措；回顾该重大研 究计划在学科交叉融合、国内重大科研仪器与基础试验技能共享等方面获得的显著成效；总结项 目研究团队在光学自由曲面 抛光、晶圆平坦化与减薄、纳米切削、电场辅助纳米压印光刻、超快激光加工和半导体器件制造等方面取得的原创性成果和 突出进展；同时，简要介绍了依托这些成果立项的4个集成项目的基本情况。 关键词：纳米制造；重大研究计划；管理举措；研究进展 中图分类号：TG161；TN05 ResearchReviewoftheNSFCMajorResearchPlan “Fundamental ResearchonNanomanufacturing’’ WANGGuobiao SHA0Jinyou S0NGJianli ‘ LAIYinan (1．DepartmentofEngineeringandMaterialsSciences，NationalNaturalScienceFoundationofChina， Beijing100085； 2．SchoolofM echanicalEngineering，Xi’anJiaotongUniversity,Xi’an710049； 3．SchoolofInstrumentScienceand0pto—ElectronicsEngineering，BeijingInformationScienceandTechnology Universiyt,Beijing100192) Abstract：NationalNaturalScienceFoundationofChmamajorresearchplan “FunadmentalResearchonNanomanufacturing’ focuses on the rfontiersofftmdamentalresearch on nanoprecision manufacturing，nanoscale manufacutring，and multi—scale mna ufacutringtomeetthekeystrategicneedsofthenationaldevelopment，explorethebasiclawsofnanomanufacturingprocessing， developnove