【2017年整理】LCD制造工艺流程(技术类)1.0.ppt

本教材共2小时;一、液晶显示器制造工艺流程;1.1 液晶显示屏制造工艺流程;图案段工艺示意图;1.1.2 前工序定向段;;1.1.3 前工序组合段;框胶;投料ITO Input; 来料ITO 玻璃主要的污染物为：灰尘，油脂等，一定温度的碱 液对ITO 玻璃有很好的清洗作用，高纯水清洗可去除溶于水的杂 质及一些灰尘，同时还能够上工序的碱液去除掉，而超声波的清 洗作用，在于利用水分子在超声波的作用下发生振动摩擦，使玻 璃表面粘附的杂质松动而脱落。水洗后的玻璃要进行干燥处理， 方法为风刀吹去玻璃表面的水然后经过红外光烘箱干燥。 玻璃基板的污物种类不同，针对不同的污物种类选择不同的 清洗方式： 油污类有机清洗，紫外光清洗 有机物弱碱液清洗，等离子体 无机物弱酸，气流，喷淋 残留微粒子超声，喷淋，气流 注意事项： 1． 有机溶剂必须储存在阴凉的地方，不要靠近明火； 2． 易挥发且有毒性，使用时尽量少接触皮肤或者吸入体 ;3． 不慎着火，用沙，泡沫，二氧化碳灭火器灭火。 清洗与干燥的工作原理：ITO 导电玻璃进行洁净处理，ITO 导 电玻璃在其制作，包装，运输过程中很容易被灰，油脂等杂质污 染，未经洁净处理的玻璃无法保证工艺的质量要求，而这些杂质 是依靠静电吸附在玻璃表面，比较容易去除。 A．有机溶剂去污原理：（去除油脂类物质）油脂不溶于水，但它 可溶于甲苯，丙酮，乙醇等有机溶剂，其中甲苯的去污能力最强， 所以先用甲苯洗，但甲苯不能残留在玻璃的表面。因甲苯可溶于 丙酮，可再用丙酮进行清洗，把残余的油脂清洗掉，同时甲苯也 溶解，同样丙酮也不能够残留在玻璃表面，因丙酮溶于乙醇，所 以继续用乙醇进行清洗，乙醇可以与水相溶解，最后用大量的去 离子水把乙醇溶解。因此清洗流程为： 甲苯 丙酮 乙 醇 去离子水（有机化学中的相近相溶原理） B．洗洁精的去污原理：洗洁精（表面活性剂）能够使不相溶的 液体成为乳浊液。通过此乳化作用将油脂包围在水中而形成乳浊 液来达到去污作用，玻璃经过洗洁精去油污后，再依次用大量的 自来水，去离子水冲洗就可以达到洁净玻璃表面的目的。 C．干燥工艺原理：经过清洗后的玻璃，表面沾有水或者有机溶 剂等清洗液，这将会对后续工序造成不良影响，特别是光刻工艺 会产生浮胶，钻刻，图形不清晰等，因此玻璃必须经过干燥处理。 ;涂胶前洗净 PR Cleaning; 风刀吹干法：STN 线上是一种高效省时的干燥玻璃表面的方 法，用高纯水淋洗过的玻璃随生产线传送到风刀位置，由数个高 压喷嘴把经过净化处理的空气以适当的倾斜角成刀片状吹向玻璃 表面，迅即吹干玻璃。 超声波清洗： 特点：速度快，质量高，易于实现自动化，特别适有于清洗表 面形状比较复杂的工件，对声反射强烈的材料，其清洗效果较好。 作用机理：通过超声空化作用，存在于液体中的微气泡（空气核） 在声场的作用下振动，当声压达到一定的值时，气泡将迅速增长，然 后突然闭合，在气泡闭合时产生冲击波，在其周围产生上千个大气压 的压力，破坏不溶性污物而使它们分散在清洗液中 ;　涂胶　　PR Coating;光刻胶的配制： 配比原则： 既要使光刻胶具有良好的抗蚀能力，又要有较高 的分辨率。 光刻胶中溶剂用量的多少决定着光刻胶的稀稠，从而影响光 刻胶的厚薄，较稀的胶，光刻胶膜较薄，分辨率高，图形较为清 晰。配制在暗室中红光或者黄光下进行，用量筒按配方比例将原 胶及溶剂分别量好，再将溶剂倒入原胶，用玻璃棒充分搅拌均匀 Page 9 of 28 混合，再把配制好的光刻胶中未能够溶解的固态杂质微粒滤除（目 的在于改善胶膜与掩模版的接触以减少胶膜针孔和提高分辩率）， 装在暗色的玻璃瓶中，并保存在阴凉和干燥的暗箱中。 ;涂胶：在使用前一定先把胶从低温条件下取出，在使用场地放 置至瓶内胶的温度与环境温度相同时方可打开瓶盖，使用前必须 进行粘度测试，（粘度的调整采用稀释的方法，加入一定量的稀释 剂），玻璃表面状况对光刻胶的接触与粘附具有较大的影响，因此 清洗后的玻璃经过紫外线照射对其表面进行活化处理，然后再涂 光刻胶。要求：不能够有脱落现象；涂层厚度均匀；涂层表面状 态不能有条纹，针孔，突起等缺陷。方法：辊涂，必须在洁净条 件下进行，温度19~25 度，湿度60%，不含紫外光成分的黄灯下 进行操作。;预烘Pre Bake ;曝光Exposure;如果曝光时间不充分，光刻胶咸光不足，化学反应不完全，显影时受光部分溶解不彻底，易留底膜；曝光时间过长，不该曝光部分边缘也被微弱感光，刻蚀后图形边界模糊，细线条变形严重。 注意事项： 1． 掩模版上机前要严格检查，因为版若有缺陷做出的产品也 会有缺陷，特别是不能够有版污染，划伤等。 2． 曝光定位一定要准确，否则后工序无法加工。 ;显影De