【2017年整理】短脉冲激光的应用.pptVIP

* * 激光微加工 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 激光微加工的概念 激光微加工的应用领域 飞秒激光微加工的优点 飞秒微加工的重要应用 光纤激光在精细加工中的应用 展望 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 微加工的概念 微加工的概念 Microfabrication 微细加工（结构，功能，性能） Micromachining 精细加工（尺寸精确，机械加工） 起源于半导体制造工艺 传统微加工技术多用于硅材料，并限于平面结构，由于这种基于传统光刻和各向异性腐蚀硅微机械，结晶学取向性限制了能获得的形状。 微加工作为微机械的关键技术 目前常用的工艺方法有：半导体IC加工工艺的硅微细加工，微细电火花精密加工，LIGA技术，微组装技术等等。 微加工几何尺寸的偏差比例（比传统的结构）大 一般传统加工偏差1%， MEMS加工尺寸偏差大于10％ Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 区别于传统的激光加工 激光微加工区别于传统得奖激光焊接、切割、打孔、表面改性等，包含范围非常广，能无限激发人的创造力。 微加工特点 激光功率小：mW～W量级； 功率密度高； 加工尺寸小，分辨率高； 脉冲、连续两种方式。 加工精度 衍射极限（横向分辨率约等于波长量级） Rayleigh长度（焦长） Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 激光微加工应用领域 激光微加工技术主要应用于以下三个重要领域： 微电子学（ME）——薄膜的局部沉积及去除，即激光修整、激光光刻、激光微机械加工，以及退火、局部掺杂及焊接等。 微机械学（MM）——在设备制造业、汽车以及航空精密制造业和各种微细加工业中可用激光进行切割、钻孔、打标、雕刻、划线、热渗透、焊接、硬化处理等。 微光学（MO）——利用诸如微压型、打磨抛光等激光表面处理来加工多种微型光学元件，也可通过诸如激光填充多孔玻璃，玻璃陶瓷的非晶化来改变组织结构，然后，通过调和外部机械力，再在软化阶段依靠等离子体辅助进行微成形来加工微光学元件。 激光在上述领域的应用推动了它在许多新兴的工程方面的应用，例如：信息、通讯、医药、微型机器人和其他一些集光、电、机械为一体的微型系统。 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 飞秒激光加工是一种高强度脉冲激光加工，具有如下优点： 飞秒激光加工的优点 无接触； 非真空条件（与X射线、电子束、离子束）； 深入体内（三维加工）； 作用区域小于衍射极限（多光子）。 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 飞秒激光微细加工应用 飞秒激光以其独特的超短持续时间和超强峰值功率正在打破以往传统的激光加工方法，开创了材料超精细、低损伤和空间3D加工和处理的新领域。该技术已在多个领域得到非常广泛应用。 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 在材料微细加工领域的应用 （a） （b） 德国汉诺威激光中心的B. N. Chichkov研究小组在真空靶室中放置100 mm厚的钢片，然后分别将能量为l mJ