单位换算–真空相关.docVIP

兆帕（MPa）; 千帕（kPa）; 帕（Pa） ※: 压力单位的兆帕符号为 MPa 不要书写为 Mpa mpa ; 千帕符号 kPa 不要书写为 KPa Kpa 或 kpa; 帕的符号 Pa 不要书写为 pa ????▲??磅力/英寸2（lbf/in2, psi） ※: 压力单位的磅力/英寸2符号为 lbf/in2, psi 不要书写为 Ibf/ln2 Psi ; ????▲??毫米汞柱（mmHg） ※: 压力单位的毫米汞柱符号为 mmHg 不要书写为 mmhg ; ????▲??英寸汞柱（inHg） ※: 压力单位的英寸汞柱符号为 inHg 不要书写为 inhg ; ????▲??毫米水柱（mmH2O） ※:压力单位的毫米水柱符号为 mmH2O 不要书写为 mmh2O ; ????▲??英寸水柱（inH2O） ※: 压力单位的英寸水柱符号为 inH2O 不要书写为 inh2O ; ????▲??千克力/厘米2（kgf/cm2） ※: 压力单位的千克力/厘米2符号为 kgf/cm2 不要书写为 Kgf/cm2 ; ????▲??物理大气压（atm） ※: 压力单位的物理大气压符号为 atm 不要书写为 Atm ; ????▲??巴（bar）; 毫巴（mbar） ※: 压力单位的巴和毫巴符号为 bar 和 mbar 不要书写为 Bar 和 mBar ; ????●??托（Torr） ※: 压力单位的托符号为 Torr 不要书写为 torr 1、真空常用数据及单位换算 1.1 真空区域划分 真空区域 压强范围 托(Torr) 帕(Pa) 低真空 760~10 101325～1333 中真空 10~10-3 1333～1.33×10-1 高真空 10-3~10-8 1.33×10-1～10-6 超高真空 10-8~10-12 10-6～10-10 极高真空 ＜10-12 ＜10-10 ? ? ? ? ? ? ? ? ?1.2 流速与漏率 ? Pa·l/s mbar·l/s Torr·l/s atm·cm3/s sccm 1Pa·l/s 1 10 7.5 9.87 59.2 1 mbar·l/s 0.1 1 0.75 0.987 5.92 1 Torr·l/s 0.133 1.33 1 1.32 78.9 1 atm·cm3/s 0.101 1.01 0.76 1 60 1 sccm 1.69×10-3 1.69×10-2 1.27×10-2 1.67×10-2 1 1.3 抽气速率单位换算表 单位 立方米/秒(m3/s) 升/秒(L/s) 立方米/小时 立方英尺/分 1立方米/秒(1m3/s) 1 1000 3600 2118.88 1升/秒(1L/s) 10-3 1 3.6 2.119 1立方米/小时(1m3/h) 2.78×10-4 0.278 1 0.59 1立方英尺/分(1cft/min) 4.72×10-4 0.47 1.69 1 ? ? ? ? ? ? 1.4 常用压强单位换算表 ? ? 帕Pa 托Torr 微米汞柱μmHg 微巴μbar 毫巴mbar 大气压atm 工程大气压am 英寸汞柱inHg 磅/英寸2lb/in2 1 Pa 1 7.5×10-3 7.5 10 10-2 9.86923×10-6 1.0197×105 2.953×10-4 1.450×10-4 1 Torr 133.32 1 103 1333.2 1.3332 1.31579×10-3 1.3595×10-3 3.937×10-2 1.934×10-2 1 μmHg 0.13332 10-3 1 1.3332 1.3332×10-3 1.31579×10-6 1.3595×10-6 3.937×10-5 1.934×10-5 1 μbar 10-1 7.5×10-4 7.5×10-1 1 10-3 9.86923×10-7 1.0197×10-6 2.953×10-5 1.450×10-5 1 mbar 102 7.5×10-1 7.5×102 103 1 9.86923×10-4 1.0197×10-3 2.953×10-2 1.450×10-2 1 atm 101325 760 760×103 1013.25×103 1013.25 1 1.0333 29.921 14.696 1 am 98066.3 735.56 735.56×103 980663 980663×10-3 0.967839 1 28.959 14.2