特种加工技术浅析.pptxVIP

特种加工技术;一.电子束加工原理;一.电子束加工原理 ; 1.1电子束热效应 电子束热效应是将电子束的动能在材料表面转化成热能，以实现对材料的加工。电子由电子枪的阴极发出，通过聚束极汇聚成电子束，在电子枪的加速电场作用下，电子的速度被提高到接近或达到光速的一半，具有很高的动能。电子束再经过聚焦线圈和偏转线圈的作用，汇聚成更细的束流。当电子束轰击材料时，电子与金属碰撞失去动能，大部分能量转化成热能，使材料局部区域温度急剧上升并且熔化，甚至气化而被去除，从而实现对材料的加工。;1.2电子束化学效应 ;1.3电子束热效应的应用;电子束镀膜;电子束熔炼;1.4电子束化学加工;二.电子束加工技术的特点;2.缺点 1） 由于使用高电压，会产生较强 X射线，必须采取相应的安全措施； 2） 需要在真空装置中进行加工； 3） 设备造价高等。电子束加工对设备和系统的真空度要求较高 ,使得电子束加工 价格昂贵 ,一定程度上限制了其在生产中的应用.。 由于电子束流具有以上特点 ,目前已被广泛地应用于高硬度、易氧化或韧性材料的微细小孔的打孔,复杂形状的铣切,金属材料的焊接、熔化和分割,表面淬硬、光刻和抛光 ,以及电子行业中的微型集成电路和超大规模集成电路等的精密微细加工中。 电子束加工广泛用于焊接（见电子束焊），其次是薄材料的穿孔和切割。穿孔直径一般为0.03～1.0毫米，最小孔径可达0.002毫米。切割0.2毫米厚的硅片，切缝仅为0.04毫米，因而可节省材料。 最重要的是，这些特性具有高的分解力和长的电场深度,电场是由于高能电子的短波产生的。电子束加工按其功率密度和能量注入时间的不同，可用于打孔、切割、蚀刻、焊接、热处理和光刻加工等。;三.电子束加工的应用;3)电子束焊接 电子束焊接具有焊缝深宽比大，焊接速度快，工件热变形小，焊缝物理性能好，工艺适应性强等优点，并且能改善接头机械性能，减少缺陷，保证焊接稳定性和重复性。因而具有极为广阔的应用前景 4)电子束打孔 用电子束对材料进行打孔加工时，要求电子束的能量密度需大于108W／cm2，每个电子束脉冲打一个孔，脉冲宽度一般只有几毫秒，脉冲的速率快，打孔的速度可以达到每秒几个到3000个孔。电子束脉冲的能量高，不受材料硬度的限制，没有磨损，可以对难熔、高强度和非导电材料进行打孔加工。并且电子束的束斑形状可控，能加工各种孔，加工效率高，加工材料的适应 范围广，加工精度高、质量好，无缺陷，一般不需要二次加工。 ;四.电子束加工装置的构成;真空系统：是为了保证在电子束加工时达到1.33x10-2～1.33x10-4Pa的真空度。因为只有在高真空时，电子才能高速运动。为了消除加工时的金属蒸气影响电子发射，使其不稳定现象，需要不断地把加工中产生的金属蒸气抽去。它一般由机械旋转泵和油扩散泵或涡轮分子泵两部分组成，先用机械旋转泵把真空室抽至1.4～0.14Pa的初步真空度，然后由油扩散泵或涡轮分子泵抽至0.014～0.00014的高真空度。 束流强度控制：是为了使电流得到更大的运动速度，常在阴极上加上50～150KV以上的负高压。加工时，为了避免热量扩散到不用加工的部位，常使用电子束间歇脉冲性地运动。工作台的移控制是为了在加式过程中控制工作台的位置。如果在大面积加工时有伺服电机控制工作台移动并与电子束的偏转相配合将减少像差和影响线性。 ; 电子枪：是获得电子束的装置，它包括电子发射阴极、控制栅极和加速阳极等。其中阴极经电流加热发射电子，带负电荷的电子高速飞向带高电位的正极，在飞向正极的过程中，经过加速，又通过电磁镜把电子束聚焦成很小的束流。加速阳极通常接地，而在阴极加以很高的负电压以驱使电子加速。 ;电子束加工的工件;五.我国电子束加工技术的发展; 1 电子束能量密度分布测试技术及束流品质自适应控制技术研究 2 高压电场分布及高压稳定技术研究； 3 电子光学设计技术研究； 4 高可靠性焊缝跟踪技术研究； 5 局部真空技术研究； 6 深穿透精密控制及焊缝质量自适应控制技术研究； 7 电子束焊接整体转于、燃烧室、机匣接头质量受变形控制技术研究； 8 高质量电子束打孔及微焦点高速扫描技术研究； 9 电子束物理气相沉积技术研究； 10 电子束微细加工技术研究 ;谢谢观赏