二次铜蚀刻讲义.ppt

二次铜/蚀刻制程专业 品保部： 刘海明 050410 一. 二次铜 1.作业流程： 上板→清洁剂→水洗→水洗→微蚀→水洗→水洗→酸洗→镀二次铜→水洗→水洗→镀锡預浸→镀锡→水洗→水洗→下板插架→硝化挂架→水洗→水洗 1.1上板:把待镀二次铜的板上在挂具上. 1.2清洁剂:进行板面清洁. 1.3微蚀:清洁及增加铜面粗糙度. 1.4酸洗:清洗板面残留的铜盐. 1.5镀二次铜:在铜槽中镀上所需的二次铜. 1.6镀锡預浸:防污染镀锡槽,在锡槽前加一预浸. 1.7镀锡:在铜表面镀上一层抗蚀保护膜 1.8硝化挂架:对挂具上的铜用硝酸去除. 3.二次铜镀铜/锡要求和条件: 3.1镀铜厚度550-750u”,锡厚≥180u”. 3.2镀铜电流密度/时间:15ASF/48. 3.3铜槽槽液控制标准: Cu2SO4·5H2O:75±5g/l 硫酸:200±10g/l 氯离子浓度:30-60ppm 温度:22±5℃ 4.槽液维护与保养: 4.1电解处理： a.电解时机：大/小过滤后或加铜块后. b.电解步骤：先弱电解电流50A/块(5ASF),时间2-8H,需关打气、开过滤、摇摆（浪板面积10SF）弱电解后强电解.强电解电流100 A/块(15ASF)，时间0.5-1H，需开打气、过滤、摇摆.电解前须将浪板硝化干净. 4.2添加铜/锡:每10天添加一次铜/锡. 4.3过滤:每 A.铜槽:八个月做大过滤一次,每月活性炭滤芯过滤8-12H,过滤机滤芯每月更换.每八个月盘槽大过滤时清理破损之阳极袋 . B.锡槽:每年大过滤一次,同时检查清理破损之阳极袋及锆篮.每月活性碳滤芯小过滤一次（8-12H） 4.4铜槽停线后重新开线,光泽剂补加量: 停线间隔时间 每个铜槽添加量 2H-4H 1.0L 4H-12H 1.5L 12H以上 2.0L 4.5导电测试:每月一次. 4.6振动马达监控方式： A.生产过程中每班点检一次，并记录于设备点检表上，有异常即 开单维修. B.电镀各线振动马达在每月15-20日由维护主导量测，并将测试数据提供给生产、研发、品管. C.量测时槽中须有板，且每个振动马达均需量测，Fly-bar则分左、中、右进行量测， D.振动标准：振动频率≥40Hz； 振幅≥0.1mm 二.蚀刻 1.作业流程: 放板→去膜→加压水洗→循环水洗→市水洗→吸干→吹干→中检段→蚀铜→氨水洗→循环水洗→市水洗→吸干→吹干→中检段→剥锡铅A→循环水洗→剥锡铅B→循环水洗→市水洗→吸干→吹干→烘干→收板 1.1去膜:利用NaOH的强碱性对干膜或油墨的碳链进行攻击,致其断裂脱落,使不需要之铜箔裸露. 1.2蚀铜:利用锡铅、干膜或油墨作业作为抗蚀刻保护层,蚀去裸铜部分,保留所需图形. 1.3剥锡铅A:利用剥锡铅A液剥去板面及孔内的锡铅层，使光亮的铜锡合金界面呈现出来. 1.4剥锡铅B:利用剥锡铅B液剥去铜锡合金界面，使光亮的铜面裸露出来. 1.5烘干:利用95±5℃的高温将板面及孔内的水分烘干 . 2.剥膜/蚀刻/剥锡的条件: 2.1.剥膜: A.温度:设定在范围50+2℃ B.浓度:NaOH 0.9-1.1N 2.2.蚀刻: A.温度:设定在范围50+2℃ B.浓度: CL- 170-210g/l Cu2+ 130-170g/l PH 7.8-8.4 2.3.剥锡: A.温度:设定在范围≤35℃ B.剥A:H+ 3-7N 剥B:H+ 1.5-3N 3.保养: 3.1剥膜: A.剥膜段后滚轮需每班在换槽后用干净之碎布清洗,以除去滚轮上之残膜,预防后续蚀刻不净. B按正常规定每班换槽并清洗槽底. C. 每班用毛刷刷洗滤网一次. D.检查液位状况,水洗液位应在标准水位线上. 每班应更换水洗槽. 3.2蚀刻机:盘槽清洗,每10天一次. 3.3每班检查剥膜段、蚀铜段、剥锡铅段之滤桶及滤网清洗状况 . * *