电火花线切割加工反向插补算法研究.pdfVIP

设计 ·研 究 《电加工与模具)2015年第5期 电火花线切割加工反向插补算法研究 王 成 ，罗福源，李 璇 (南京航空航天大学机电学院，江苏南京 210016) 摘要：电火花线切割加工半导体材料时，正常放 电状态和短路状态的电压波形相近而无法区 分。根据一定周期 内的电流脉冲个数除以电压脉冲个数 (即电流脉冲概率)与进给速度的关系，3- 电流脉冲概率达到一定阈值时，要求进给系统能够回退 。但一般插补算法都是单向的，无法做到严 格按原轨迹回退，故要求有反向插补算法。由单步追踪法推导出反向插补算法，并通过插补实例证 明其正确性 。 关键词：电火花线切割加工；反向插补 ；单步追踪法 中图分类号 ：TG661 文献标识码 ：A 文章编号 ：1009-279X(2015)05-0013-04 StudyonReversibleInterpolationAlgorithm ofW ireElectrical-dischargeM achining WangCheng，LuoFuyuan，LiXuna (CollegeofMechanicalandElectricalEngineering，NanjingUniversityof AeronauticsnadAstronautics，Nanjing210016，China) Abstract：Wireelectrical-dischargemachining (WEDM)ofsemiconductormaterial，thevoltage waveform ofnormaldischrageconditionnadshort—circuitistoosimilra todifferentiate．Accordingto relationbetweencurrentprobability(currentpulsenumberdividedbythevoltagepulsenumbe0within acertainperiodandfeedspeed，whencurrentpulseprobabilityreachesacertain threshold，thefeed system isrequired to fallback．Butgeneral interpolation algorithm istypically a single direction interpolation algorithm and fallback in strictaccordnacewith the original track back can notbe achieved，therefore inverse inteprolation algorithm mustbe proposed．The reversible interpolation algorithm wasdeducedonthebasisofstep—by—steptracemethod，andtheinteprolationexamplesshow correctnessof theinteprolationalgorithm． Keywords：WEDM ；reversibleinterpolation；step-by-stepinteprolation 电火花线切割加工半导体材料时的电压波形 进给电机回退。 特征与加工金属材料时有明显的不同。加工金属 时，开路、正常放电及短路状态的电压区别明显，可 僻 用电压阈值将其区分开来。但该方法在加工半导体 鞋 时便会失效，因为半导体加工的正常放 电电压波形 {L