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气动膜片式精密焊球微滴喷射制作方法
第8期 机械设计与制造
2012年 8月 Machinery Design Manufacture 179
文章编号：1001—3997(2012)08—0179—03
气动膜片式精密焊球微滴喷射制作方法
}理制作焊球的新方法。介绍了该方法的基本原理及所采用的实验装置，使用由自制电火花微孔加工机 {
l床加工的直径501xm不锈钢喷嘴，成功实现了直径lO0~m以下焊球的制作，研究了主要控制参数对焊 j
；国内直径lO0~m以下超精密微焊球制作技术的空白。 {
l A【bstract】Aimedathighuniformultra-smallsolderballsrequirementinareaarraypackage，0novel；
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在凸点制作之前先制作符合封装要求的精密焊球，然后由植机 二3 ；，以得出 射直径之间的关为
-k来稿 日期：201l一10—25 ★基金项 目：国家 自然科学基金资助项 目
180 张鸿海等：气动膜片式精密焊球微滴喷射制作方法 第8期
氮气 固成球形度极高的焊球，与此同时膜片恢复至初始位置为下一次
喷射做好准备。
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当膜片在脉冲气压的作用下挤压待喷射焊料腔时，腔内的
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