AIN微热板气体传感器阵列热失稳特性研究 .pdfVIP

学兔兔 第34卷 第 12期 仪 器 仪 表 学 报 Vo1．34No．12 2013年 12月 ChineseJournalofScientificInstrument Dec．2013 AIN微热板气体传感器阵列热失稳特性研究 周 真，赵文杰，施云波，王 婷 ，于 洋 (哈尔滨理T大学测控技术与通信丁程学院 测控技术与仪器黑龙江省高校重点实验室 哈尔滨 150080) 摘 要：采用微机电系统(MEMS)技术设计和制作 了一种基于氮化铝(A1N)基陶瓷微热板2单元气体传感器阵列 。传感器 单元由加热器电极和信号电极组成，中间加热区周同通过激光微加工刻蚀有4个热隔离通孔以减少热传导损失，并通过4个 梁与边缘相连接 。利用 ANSYS软件对传感器阵列热结构进行了热场耦合有限元仿真分析 ，验证了设计的合理性及T艺的可 行性。通过热干扰测试分析得 ，传感器单元 1T作在 300mw 时，加热温度为 130．6oC，对另一单元产生的热干扰温度为 l19．1 ，两单元 同时T作在 300mw时产生的热温差仅为3．9oC，两单元的热响应速率均为6000ms。可见 ，研究传感器稳 态下单元之间的热干扰大小和瞬态下热平衡速率对集成传感器阵列热稳定性具有重要意义。 关键词：传感器阵列；氮化铝；热传导；微机电系统 中图分类号 ：TP212 TH83 文献标识码：A 国家标准学科分类代码 ：460．4020 StudyonthermalinstabilitycharacteristicsofAIN micro·hotplategassensorarray ZhouZhen，ZhaoWenjie，ShiYunbo，WangTing，YuYang fTheHigherEducationalKeyLaboratoryforMeasuringControlTechnologyandInstrumentationsofHeilongiiang Province．SchoolofMeasurement—ControlTechnologyCommunicationsEngineering．HarbinUniversityof ScienceandTechnology，Harbin150080，China) Abstract：TheA1N—basedceramicmicro—hotplatetwo—unitgassensorarraysweredesignedandfabricatedusingmi— cro—electro—mechanicalsystem (MEMS)technique．Thesensorunitconsistsofheatingandsignalelectrodes，around itsmiddleheatingarea，fourthermalisolatedholeswerepreparedwithlasermicro-processingetchingtoreducethe thermalconductionloss，whichareconnectedwiththeedgethroughfourbeams．Thethermalcouplingfieldbehavior ofthesensorarrayswassimulatedandanalyzedusingtheANSYSsoftware，whichverifiestherationalityofthedesign andthefeasibilityoftheprocessingtechnology．Thethermalinterferencetestanalysisresultsshow thatwhentheunit No．1ofthesensoroperates