Co／Mo2C多层膜热稳定性及界面特性研究 .pdfVIP

学兔兔 第 卷 第 期 光 学 仪 器 年 月 文章编号 多层膜热稳定性及界面特性研究 冯志祥 李浩川 朱京涛 吴文娟 同济大学物理科学与工程学院上海 上海应用技术学院理学院上海 摘要为研究多层膜反射镜的热稳定性设计制备了工作在 处的 多层膜研究 了多层膜在退火实验中的热稳定性及界面结构的变化通过 射线反射测试表征及拟合退火 前后多层膜的结构信息并用 射线衍射表征多层膜退火过程中膜层晶相结构的变化结果表 明多层膜的界面质量较好未退火样品处于无定形态在退火过程中周期厚度变化小多层 膜的热稳定性优异随着退火温度的升高在 界面处 从 混合区域中析出 生成晶粒界面扩散程度加大从而 界面的热稳定性要优于 界面 关键词多层膜热稳定性界面特性 中图分类号 文献标志码