T型硅微悬臂梁频率温度系数的测试研究 .pdfVIP

学兔兔 第36卷 第 7期 仪 器 仪 表 学 报 Vo1_36No．7 2015年 7月 ChineseJournalofScientificInstrument Ju1．2015 T型硅微悬臂梁频率温度系数的测试研究术 余东生 ，杨一柳 ，李 琨 ，王晓东 ，王立鼎 (1．渤海大学工学院 锦州 121013；2．渤海大学计算机基础教研部 锦州 121013； 3．大连理工大学机械工程学院 大连 116024) 摘 要：为了获得T型单晶硅微悬臂梁的固有频率温度系数，首先从理论上分析了T型微悬臂梁的固有频率随温度的变化规 律 ，并建立了其固有频率的温度系数模型。随后搭建了带有高温环境加载功能的MEMS微结构动态特性测试系统，采用 OFV534激光多普勒测振仪获取微结构的振动响应，采用基于压电陶瓷的底座激励方法实现对微结构的激励 ，在激励装置中采 用了一个可动机构 ，解决了压电陶瓷在高温环境下使用的难题。最后，使用带有高温环境加载功能的MEMS微结构动态特性 测试系统 ，测试了一种典型T型单晶硅微结构的动态特性，测试温度范围为室温～300％，得到硅微悬臂梁的固有频率温度系数 约为 一2．71×10～／~C，与理论分析的结果具有很好的一致性。 关键词 ：MEMS测试；T型微悬臂梁；高温环境 ；固有频率温度系数 ；底座激励 中图分类号：TH825 文献标识码：A 国家标准学科分类代码：460．4099 Studyonthemeasurementofnaturalfrequencytemperaturecoeffi cientfor T-shaped siliconmicrocantilever SheDongsheng ，YangYiliu ，LiKun ，W angXiaodong。WangLiding ， (．CollegeofEngineering，BohaiUniversity，Jinzhou121013，China； 2．ResearchandTeachingInstituteofCollegeComputerScience，BohaiUniversity，Jinzhou121013，China； 3．SchoolofMechanicalEngineering，DalianUniversityofTechnology，Dalian116024，China) Abstract：ToobtainthenaturalrfequencytemperaturecoefficientofT—shapedsiliconmicrocantilever，firstly，thevariationlawofthenatu— ral rfequencywithtemperaturewastheoreticallyanalyzed，andthetheoreticalmodelofthenaturalrfequencytemperaturecoefficientwases— tablished．Secondly，thedynamiccharacteristicmeasurementsystemwithhightemperatureenvironmentloadingunitforMEMSmicrostmc— tureswasdeveloped．Inthesystem ，the0FV534laserDopplervibrameterwasusedtoobt